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差壓式與熱式質(zhì)量流量計(jì)的比較
閱讀：6355 發(fā)布時間：2010-12-1
熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)（以下稱MFC/MFM）通過測量層流元件的差壓、壓力、溫度來計(jì)算流量，這種測量方式具有固有的線性，重復(fù)性好，高精度，無需預(yù)熱，溫漂小等特點(diǎn)；可以同時測量4種參數(shù)：氣體的瞬時流量、累計(jì)流量、溫度和絕壓，并且可以同時顯示和輸出。雖然傳統(tǒng)的熱式原理不需經(jīng)過溫壓補(bǔ)償即可以直接測量氣體的質(zhì)量流量，但是熱式原理產(chǎn)品具有先天性的缺陷：長期加熱的工作模式產(chǎn)生的熱漂移，反應(yīng)速度慢等缺點(diǎn)是不可避免的。而采用差壓原理的氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)幾乎無零點(diǎn)和溫度漂移，反應(yīng)速度快，無需預(yù)熱，上電即可操作，解決了長期困擾客戶的問題。目前，一些的熱式流量計(jì)廠家正在紛紛開發(fā)差壓式質(zhì)量流量計(jì)。
ALICAT差壓原理和熱式原理的對照表
| 指 標(biāo) | Alicat層流差壓式原理 | 典型熱式原理 |
| 傳感器 | 固態(tài)硅基差壓傳感器 | RTD或熱電偶 |
| 流量范圍 | 滿量程從0.5SCCM到1500SLPM | 滿量程從3SCCM到1000SLPM |
| 響應(yīng)時間 | 10毫秒（控制器100 毫秒） | 0.3-3.0秒 |
| 顯示屏 | 標(biāo)準(zhǔn)，內(nèi)置 | 可選項(xiàng)，外部裝配 |
| 預(yù)熱時間 | ＜1秒 | 8-30分鐘 |
| 累計(jì)流量 | 可選項(xiàng)，內(nèi)置 | 可選項(xiàng)，外部裝配 |
| 過程數(shù)據(jù) | 內(nèi)置顯示屏顯示質(zhì)量流量、體積流量、在線溫度和在線壓力 | 質(zhì)量流量 |
| 輸出選項(xiàng) | 標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)置顯示屏，模擬信號（0-5VDC,0-10VDC,1-5VDC或4-20mA）和標(biāo)準(zhǔn)RS232接口； 可采用第二路模擬輸出體積流量、溫度或壓力 | 標(biāo)準(zhǔn)模擬輸出，可選顯示屏，可選數(shù)字輸出 |
| 數(shù)字輸出 | 標(biāo)準(zhǔn)輸出包括質(zhì)量流量、體積流量、在線溫度、在線壓力、測量氣體；可選累計(jì)流量；標(biāo)準(zhǔn)Multi-drop RS232接口 | 可選質(zhì)量流量數(shù)字輸出；無Multi-drop選項(xiàng) |
| 供應(yīng)電源 | 7-30VDC,35mA的標(biāo)準(zhǔn)AC/DC轉(zhuǎn)換電源； 可使用一個標(biāo)準(zhǔn)的9V電池包供電 | 特殊供應(yīng)電源，正和負(fù)的穩(wěn)定15VDC |
| 過程連接 | 標(biāo)準(zhǔn)的NPT或小巧的氣動配件，可選SAE,BSPP等接頭 | 特制Swagelok?、VCR等 |
| 多種氣體測量性 | 可從內(nèi)置菜單選擇30種標(biāo)準(zhǔn)氣體 | 單一氣體，需 |
| 固有線性 | 有 | 無 |
| 文件 | 內(nèi)置顯示屏顯示型號數(shù)、連續(xù)號數(shù)、制造日期、校驗(yàn)技術(shù)員和軟件版本、型號/連續(xù)號，簽條也同樣為標(biāo)準(zhǔn)的 | 產(chǎn)品的貼紙上 |