高純水（high-purity water）是化學純度*的水，其中雜質的含量小于0.1mg/L。目前人們制成的高純水的純度已經達到99.999999%，其中雜質含量低于0.01mg/L。高純水主要指水的溫度為25℃時電導率小于0.1μS/cm，pH值為6.8~7.0以及去除其他雜質（如顆粒、膠體、溶解氣體、有機物）和細菌的水。高純水是指將水中的導電介質幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體和有機物均去除至很低程度的水，高純水的含鹽量在0.3mg/L以下，電導率小于0.2μs/cm。
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