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管式電阻爐廠家介紹：
這款CVD系統集真空管式爐，多通道氣路系統和真空系統組成，可根據用戶需要設計生產（有雙溫區、三溫區、多溫區），可預抽真空（有高真空、低真空），通多種氣氛（供氣系統有質子流量器和浮子流量控制器）。性能可靠。控制電路選用模糊PID程控技術，具有控溫精度高，溫沖幅度小，性能可靠，簡單易操作等特點。CVD生長系統適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。CVD管式爐CVD管式爐CVD管式爐
一、1200℃單溫區管式爐
型號 | 爐管尺寸(mm) | 加熱區長度(mm) | 恒溫區長度(mm) | 加熱區外徑(mm) | zui高加熱溫度(℃) | 持續工作溫度(℃) | 額定功率(kw) | 工作電源(V) |
HTF1200-2.5/20 | φ25*450 | 200 | 100 | φ25 | 1200 | 1100 | 1.7 | 220 |
HTF1200-5/20 | φ50*450 | 200 | 100 | φ50 | 1200 | 1100 | 1.7 | 220 |
HTF1200-6/40 | φ60*1000 | 400 | 150 | φ60 | 1200 | 1100 | 3 | 220 |
HTF1200-8/40 | φ80*1000 | 400 | 150 | φ80 | 1200 | 1100 | 3 | 220 |
HTF1200-10/40 | 100*1000 | 400 | 150 | φ100 | 1200 | 1100 | 3 | 220 |
HTF1200-6/90 | φ60*1400 | 900 | 450 | φ60 | 1200 | 1100 | 6 | 220 |
HTF1200-8/90 | φ80*1400 | 900 | 450 | φ80 | 1200 | 1100 | 6 | 220 |
HTF1200-10/90 | 100*1400 | 900 | 450 | φ100 | 1200 | 1100 | 6 | 220 |
HTF1200-13/90 | 130*1400 | 900 | 450 | φ130 | 1200 | 1100 | 6 | 220 |
HTF1200-15/90 | 150*1400 | 900 | 450 | φ150 | 1200 | 1100 | 6 | 220 |
HTF1200-21/90 | 210*1400 | 900 | 450 | φ210 | 1200 | 1100 | 6 | 220 |
HTF1200-28/90 | 280*1400 | 900 | 450 | φ280 | 1200 | 1100 | 6 | 220 |
二、 1200℃雙溫區管式爐
型號 | 爐管尺寸(mm) | 加熱區長度(mm) | 恒溫區長度(mm) | 加熱區外徑(mm) | zui高加熱溫度(℃) | 持續工作溫度(℃) | 額定功率(kw) | 工作電源(V) |
HTF1200-6/40-II | φ60*1000 | 400 | 200 | φ60 | 1200 | 1100 | 4 | 220 |
HTF1200-8/40-II | φ80*1000 | 400 | 200 | φ80 | 1200 | 1100 | 4 | 220 |
HTF1200-10/40-II | φ100*1000 | 400 | 200 | φ100 | 1200 | 1100 | 4 | 220 |
三、1200℃三溫區管式爐
型號 | 爐管尺寸(mm) | 加熱區長度(mm) | 恒溫區長度(mm) | 加熱區外徑(mm) | zui高加熱溫度(℃) | 持續工作溫度(℃) | 額定功率(kw) | 工作電源(V) |
HTF1200-6/60-III | φ60*1200 | 600 | 450 | φ60 | 1200 | 1100 | 4 | 220 |
HTF1200-8/60-III | φ80*1200 | 600 | 450 | φ80 | 1200 | 1100 | 4 | 220 |
HTF1200-10/60-III | 100*1200 | 600 | 450 | φ100 | 1200 | 1100 | 4 | 220 |
HTF1200-6/90-III | φ60*1400 | 900 | 600 | φ60 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-8/90-III | φ80*1400 | 900 | 600 | φ80 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-10/90-III | φ100*1400 | 900 | 600 | φ100 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-13/90-III | φ130*1400 | 900 | 600 | φ130 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-15/90-III | φ150*1400 | 900 | 600 | φ150 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-21/90-III | φ210*1400 | 900 | 600 | φ210 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-28/90-III | φ280*1400 | 900 | 600 | φ280 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
四、1200℃五溫區管式爐
型號 | 爐管尺寸(mm) | 加熱區長度(mm) | 恒溫區長度(mm) | 加熱區外徑(mm) | zui高加熱溫度(℃) | 持續工作溫度(℃) | 額定功率(kw) | 工作電源(V) |
HTF1200-6/90-V | φ60*1400 | 900 | 750 | φ60 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-8/90-V | φ80*1400 | 900 | 750 | φ80 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-10/90-V | φ100*1400 | 900 | 750 | φ100 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-13/90-V | φ130*1400 | 900 | 750 | φ130 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-15/90-V | φ150*1400 | 900 | 750 | φ150 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-21/90-V | φ210*1400 | 900 | 750 | φ210 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-28/90-V | φ280*1400 | 900 | 750 | φ280 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
五、1400℃單溫區管式爐
型號 | 爐管尺寸(mm) | 加熱區長度(mm) | 恒溫區長度(mm) | 加熱區外徑(mm) | zui高加熱溫度(℃) | 持續工作溫度(℃) | 額定功率(kw) | 工作電源(V) |
HTF1400-6/30 | φ60*1000 | 300 | 150 | φ60 | 1400 | 1300 | 7 | 220 |
HTF1400-8/30 | φ80*1000 | 300 | 150 | φ80 | 1400 | 1300 | 7 | 220 |
HTF1400-10/30 | φ100*1000 | 300 | 150 | φ100 | 1400 | 1300 | 7 | 220 |
備注：可定制為開啟式
六、1400℃雙溫區管式爐
型號 | 爐管尺寸(mm) | 加熱區長度(mm) | 恒溫區長度(mm) | 加熱區外徑(mm) | zui高加熱溫度(℃) | 持續工作溫度(℃) | 額定功率(kw) | 工作電源(V) |
HTF1400-6/40-II | φ60*1000 | 200+200 | 250 | φ60 | 1400 | 1300 | 7 | 220 |
HTF1400-8/40-II | φ80*1000 | 200+200 | 250 | φ80 | 1400 | 1300 | 7 | 220 |
HTF1400-10/40-II | φ100*1000 | 200+200 | 250 | φ100 | 1400 | 1300 | 7 | 220 |
備注：可定制為開啟式
七、1400℃三溫區管式爐
型號 | 爐管尺寸(mm) | 加熱區長度(mm) | 恒溫區長度(mm) | 加熱區外徑(mm) | zui高加熱溫度(℃) | 持續工作溫度(℃) | 額定功率(kw) | 工作電源(V) |
HTF1400-6/60-III | φ60*1200 | 600 | 450 | φ60 | 1400 | 1300 | 9 | 220 |
HTF1400-8/60-III | φ80*1200 | 600 | 450 | φ80 | 1400 | 1300 | 9 | 220 |
HTF1400-10/40-III | φ100*1200 | 600 | 450 | φ100 | 1400 | 1300 | 9 | 220 |
備注：可定制為開啟式
八、1600℃單溫區管式爐
型號 | 爐管尺寸(mm) | 加熱區長度(mm) | 恒溫區長度(mm) | 加熱區外徑(mm) | zui高加熱溫度(℃) | 持續工作溫度(℃) | 額定功率(kw) | 工作電源(V) |
HTF1600-6/30 | φ60*1000 | 300 | 150 | φ60 | 1600 | 1500 | 7 | 220 |
HTF1600-8/30 | φ80*1000 | 300 | 150 | φ80 | 1600 | 1500 | 7 | 220 |
HTF1600-10/30 | φ100*1000 | 300 | 150 | φ100 | 1600 | 1500 | 7 | 220 |
備注：可定制為開啟式
九、1600℃雙溫區管式爐
型號 | 爐管尺寸(mm) | 加熱區長度(mm) | 恒溫區長度(mm) | 加熱區外徑(mm) | zui高加熱溫度(℃) | 持續工作溫度(℃) | 額定功率(kw) | 工作電源(V) |
HTF1600-6/40-II | φ60*1000 | 400 | 250 | φ60 | 1600 | 1500 | 7 | 220 |
HTF1600-8/40-II | φ80*1000 | 400 | 250 | φ80 | 1600 | 1500 | 7 | 220 |
HTF1600-10/40-II | φ100*1000 | 400 | 250 | φ100 | 1600 | 1500 | 7 | 220 |
備注：可定制為開啟式
十、1600℃三溫區管式爐
型號 | 爐管尺寸(mm) | 加熱區長度(mm) | 恒溫區長度(mm) | 加熱區外徑(mm) | zui高加熱溫度(℃) | 持續工作溫度(℃) | 額定功率(kw) | 工作電源(V) |
HTF1600-6/60-III | φ60*1200 | 600 | 450 | φ60 | 1600 | 1500 | 9 | 220 |
HTF1600-8/60-III | φ80*1200 | 600 | 450 | φ80 | 1600 | 1500 | 9 | 220 |
HTF1600-10/60-III | φ100*1200 | 600 | 450 | φ100 | 1600 | 1500 | 9 | 220 |
備注：可定制為開啟式
十一、1700℃單溫區管式爐
型號 | 爐管尺寸(mm) | 加熱區長度(mm) | 恒溫區長度(mm) | 加熱區外徑(mm) | zui高加熱溫度(℃) | 持續工作溫度(℃) | 額定功率(kw) | 工作電源(V) |
HTF1700-6/30 | φ60*1000 | 300 | 150 | φ60 | 1700 | 1600 | 7 | 220 |
HTF1700-8/30 | φ80*1000 | 300 | 150 | φ80 | 1700 | 1600 | 7 | 220 |
備注：可定制為開啟式
十二、1700℃雙溫區管式爐
型號 | 爐管尺寸(mm) | 加熱區長度(mm) | 恒溫區長度(mm) | 加熱區外徑(mm) | zui高加熱溫度(℃) | 持續工作溫度(℃) | 額定功率(kw) | 工作電源(V) |
HTF1700-6/40-II | φ60*1000 | 400 | 250 | φ60 | 1700 | 1600 | 7 | 220 |
HTF1700-8/40-II | φ80*1000 | 400 | 250 | φ80 | 1700 | 1600 | 7 | 220 |
HTF1700-10/40-II | φ100*1000 | 400 | 250 | φ100 | 1700 | 1600 | 7 | 220 |
備注：可定制為開啟式
十三、1700℃三溫區管式爐
型號 | 爐管尺寸(mm) | 加熱區長度(mm) | 恒溫區長度(mm) | 加熱區外徑(mm) | zui高加熱溫度(℃) | 持續工作溫度(℃) | 額定功率(kw) | 工作電源(V) |
HTF1700-6/60-III | φ60*1200 | 600 | 450 | φ60 | 1700 | 1600 | 9 | 220 |
HTF1700-8/60-III | φ80*1200 | 600 | 450 | φ80 | 1700 | 1600 | 9 | 220 |
HTF1700-10/60-III | φ100*1200 | 600 | 450 | φ100 | 1700 | 1600 | 9 | 220 |
備注：可定制為開啟式
十四、1750℃單溫區管式爐
型號 | 爐管尺寸(mm) | 加熱區長度(mm) | 恒溫區長度(mm) | 加熱區外徑(mm) | zui高加熱溫度(℃) | 持續工作溫度(℃) | 額定功率(kw) | 工作電源(V) |
HTF1750-5/20 | φ50*800 | 200 | 100 | φ50 | 1750 | 1700 | 4 | 220 |
HTF1750-6/20 | φ60*800 | 200 | 100 | φ60 | 1750 | 1700 | 4 | 220 |
備注：可定制為開啟式
十五、1800℃單溫區管式爐
型號 | 爐管尺寸(mm) | 加熱區長度(mm) | 恒溫區長度(mm) | 加熱區外徑(mm) | zui高加熱溫度(℃) | 持續工作溫度(℃) | 額定功率(kw) | 工作電源(V) |
HTF1800-5/20 | φ50*800 | 200 | 100 | φ50 | 1800 | 1750 | 4 | 220 |
HTF1800-6/20 | φ60*800 | 200 | 100 | φ60 | 1800 | 1750 | 4 | 220 |
本公司可定制各種CVD系統。
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