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淺談傅里葉紅外光譜儀的成膜技術問題
閱讀：1161 發布時間：2020-7-23
傅里葉紅外光譜儀（FTIR）被稱為第三代紅外光譜儀，利用麥克爾遜干涉儀將兩束光程差按一定速度變化的復色紅外光相互干涉，形成干涉光，再與樣品作用。探測器將得到的干涉信號送入計算機進行傅立葉變換的數學處理，把干涉圖還原成光譜圖。
紅外光譜儀利用物質對不同波長的紅外輻射的吸收特性，進行分子結構和化學組成的分析。紅外光譜儀通常由光源，單色器，探測器和計算機處理信息系統組成。根據分光裝置的不同，分為色散型和干涉型。由于色散型很少使用，目前廣泛使用的是干涉型的傅里葉變換紅外光譜儀。
傅里葉紅外光譜儀的成膜技術中重要的兩個問題分別是薄膜厚度不均勻和溶劑殘留。薄膜的厚度不均將導致譜圖的非線性。而在薄膜技術中應該時刻注意溶劑殘留的問題。如果結果顯示有溶劑殘留，有時可通過繼續加熱來去除溶劑。如不能確定某個特征峰是溶劑還是樣品產生，那樣品必須用另一種方法檢測或使用另一種不會產生該特征峰的溶劑。
另一個可能產生的問題是某些樣品在加熱和有氧氣的情況下易發生氧化。有幾種方法可以防止或減小這種氧化。在惰性氣氛中蒸發溶劑，比如在氮氣中，這樣可以減少氧氣的存在。或是減少加熱量來化小這個問題。有條件的話，可以使用更低沸點的溶劑，或用真空泵來抽取溶劑。