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邁可諾技術有限公司

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科研型桌面式納米壓印機

2025-4-8 閱讀(222)

邁可諾科研型納米壓印機RD-NIL100,是一款桌面型納米壓印系統。 主要應用于微米或納米結構的壓印成型。

一、納米壓印機應用

1.1 DOE(人臉識別衍射元器件)

可用于制造高精度的衍射光學元件(DOE),這些元件在人臉識別技術中起到關鍵作用。通過納米壓印技術,能夠在基材上形成微米或納米級的復雜光學結構,用于光束整形和衍射,從而提升人臉識別設備的成像質量和識別精度。


1.2 Diffuser(擴散元器件)

該設備適用于生產光學擴散器,通過壓印形成均勻的微納結構,實現光的散射和擴散。這種擴散元器件廣泛應用于照明系統、顯示技術以及激光散射領域,能夠有效改善光分布均勻性。


1.3 AR波導片

在增強現實(AR)領域,可用于制造波導片,通過納米壓印技術在基材上形成特定的微納結構,用于光的傳輸和耦合。這種高精度波導片是AR眼鏡和頭顯設備的核心組件,能夠提升虛擬影像的清晰度和視場角。


1.4 微透鏡陣列

能夠壓印出微透鏡陣列,即由多個微米級透鏡組成的結構。 這種陣列廣泛應用于光學傳感器、成像系統和光通信領域,可實現光線的聚焦、分束或準直,提升設備的光學性能。


1.5 微流控芯片

在生物醫學和化學分析領域,該納米壓印機可用于制造微流控芯片。 通過壓印形成微米或納米級的通道和結構,用于精確控制微量液體的流動、混合和反應,適用于疾病診斷、藥物篩選和單細胞分析等應用。


6. 微針

還能生產微針陣列,即表面帶有微米或納米級針狀結構的器件。 這種微針可用于無痛藥物傳遞、疫苗接種或生物傳感,通過壓印技術實現高密度、高精度的針尖制造,提升穿刺效率和生物相容性。


二、納米壓印機特點

● 桌面型,4/6/8英寸可選

● 熱壓印<230℃,誤差±2℃

● 真空環境作業,<1mbar

● 可壓印分辨率<50nm圖案


三、納米壓印機技術參數

可實現圖案轉移分辨率:分辨率<50nm,可同時實現UV紫外固化和熱壓印兩種模式;

壓印精度控制及均勻性:在紫外固化模式下,可實現5:1深寬比,優異的壓印高度均勻性;

熱壓印:230℃;100°C/min升溫速度;可以根據壓印材料,通過軟件實現不同溫度控制;

UV光源:配置i-line 365nm光源,光源能量值可達400mW/cm2;

壓力控制:真空腔≤100Pa;氣壓腔0.0-0.3bar,采用進口干泵機;

壓印平臺:平整度TTV<5μm,確保長期的高精度、高穩定性;

檢測模塊:配置氣壓及溫度檢測模塊,與軟件配套,可實現特定環境的控制;

通訊接口:USB2.0標準計算機與儀器通訊接口;

壓印室尺寸:直徑~105mm,高度~12mm(4寸);

支持自定義 :可根據客戶壓印材料不同,控制不同氣溫,UV紫外照射時間及量;

應用軟件

操作控制:提供簡單易操作的控制流程,同時支持管理員模式更改個別需求參數;

實時監控:監控壓印腔體內的溫度、壓力數據,實時反映在監控軟件上。





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