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新式的OnTool ™ Booster帶著強勁的功率和緊湊的結構出現在真空技術中。它以高達130 m³/h的抽速以及小于1 · 10^-5mbar的極限真空度而著稱。到目前為止在很多應用領域高真空泵和前級泵之間都需要聯接。但是因為OnTool ™ Booster可以直接對大氣進行排氣，所以它不需要前級泵。因此用戶可以節約場地和成本。因為設計緊湊，該泵可以直接安裝在設備上（例如閘閥傳輸艙）。OnTool ™ Booster也是研發，鍍膜以及半導體工業等需要清潔環境的應用方面的*選擇，因為工作過程中無顆粒物，腐蝕性氣體以及冷凝物。它可以用于多種用途，既可以作為真空泵單獨使用，也可以作為分子泵的前級泵使用。

OnTool™ Booster –直接對大氣排氣的高真空泵

產品優點一覽
創新的設計    -----直接大氣壓環境下工作，產生高真空
緊湊         -----現代,便利的設計
強勁    -----高達130 m³/h的超高抽氣速度
低成本  -----不需要前級泵
無顆粒排放物   -----適用于所有的清潔用途
靈活   -----既可單獨使用也可以作為前級泵使

應用范圍

· 傳輸艙 · 閘閥 · EUV-拼版印刷

· 太陽能電池鍍膜 · 光學鍍膜 · 表面加工

· 模擬艙 · 白熾燈泡生產

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