抗腐蝕、陶瓷型電容薄膜規，膜片真空計

INFICON SKY CDG025D 電容膜片真空計屬于高精度溫度補償型真空計, 在苛刻的生產環境中具有穩定的性能. *的數字電子學提高真空計的性能和易于使用的特點, 如一鍵調零功能和設點調整. 抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有超卓的零點穩定性與預期數百萬次壓強周期包括大氣沖擊的長使用壽命. *的傳感器屏蔽 （技術） 保護真空計防止過程污染. 堅固耐用的機械結構和數字電子學加強了EMC 兼容性, 長期穩定性和溫度補償性. CDG025D 真空計為從電源接通后的快速穩定與暴露大氣壓后快速恢復等特性設定了新的標準.

優點

■ 全刻度范圍從 100 毫乇… 1000 乇

■ 電源接通后快速穩定

■ 暴露大氣壓后快速恢復

■ 抗腐蝕性陶瓷傳感器

■ 超卓的長期訊號穩定性

■ 溫度補償

■ 保護傳感器防止污染

■ 一鍵調零功能

■ 寬范圍電源

■ 兩個設點

■ RS232接口

■ 符合清潔室條件

抗腐蝕、陶瓷型電容薄膜規，膜片真空計

用途

在要求高的應用中用于準確和快速的壓強測量:

■ 用于刻蝕, CVD, PVD, ALD 等半導體制造設備

■ 數據貯存和顯示器制造設備

■ 工業真空設備

■ 一般高精度壓強測量