德國INFICON氦質譜檢漏儀，干式氦氣檢漏儀 UL3000 Fab (PLUS)，UL1000 Fab的升級強化版。

INFICON 氦氣檢漏儀 UL3000 Fab (PLUS) 設計用于滿足半導體應用中的泄漏檢測要求。

德國INFICON氦質譜檢漏儀具有靈活性、可移動性、高靈敏度和可靠性，能夠快速啟動并提供快速準確的測量結果。

優點

1、快速獲得結果

改進后的真空系統采用低維護真空泵設計，在大氣壓力下即可檢測泄漏。耐用質譜系統確保了較長的運行時間和較低的維護成本。UL3000 Fab PLUS 中的 HYDRO-S 軟件可消除系統中的水汽，使泄漏檢測過程更加迅速。UL3000 Fab PLUS 采用成熟的嗅探器線路 SL3000（長度可達 10 m），嗅探能力得到進一步提升。

2、旋轉式遙控顯示器

新型觸摸屏顯示器可遠距離顯示測量結果和狀態信息。通過用戶引導型菜單結構可輕松進行操作，即使缺乏經驗的操作員也能勝任。可通過智能手機或平板電腦對 UL3000 Fab (PLUS) 進行無線控制 - 無需特殊軟件或應用程序。按下按鈕，即可將記錄和存儲的檢測結果傳輸到其他存儲介質中，以進行進一步分析。

3、纖薄設計，實現高度的可操作性

低重心、大底輪、符合人體工程學設計的手柄和纖薄外殼，使得 UL3000 Fab (PLUS) 即使在狹小的空間內也能移動自如。

功能

1、可在大氣壓力下測量

2、直觀的用戶指南與觸摸屏顯示器

3、堅固耐用的真空系統，不易受灰塵和污染物影響

4、轉彎半徑小，移動性能出眾

5、可使用智能手機通過網絡瀏覽器進行操作

6、維護要求低

7、設備上已附帶配件

典型應用

1、在現有工具中安裝前對部件執行檢漏

2、工藝氣體系統的檢查和安裝

3、使用 TC1000 測試盒執行密封組件的自動測試

4、在對檢測條件和清潔度要求嚴苛的環境中進行的泄漏檢測