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CHY-CA型單晶硅片厚度測量儀器(單晶硅片測厚儀)介紹

閱讀:1263      發布時間:2011-3-9
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產品關鍵詞:單晶硅片測厚儀、單晶硅片厚度檢測儀器、單晶硅片厚度測量儀器、單晶硅片厚度測試儀

Labthink蘭光的CHY-CA改款型測厚儀,可用于單晶硅片厚度的檢測,測試分辯率高達0.1微米,*單晶硅片對厚度高精度測試的要求;同時測試幅面寬度可以達到400mm,*單晶硅片整個幅面厚度測試的要求。CHY-CA改款型測厚儀除了具備高精度、率等特點外,還采用測量樣品自動前進驅動系統,大大提高了測試效率,充分滿足用戶連續測試的要求,并配有專業軟件支持,操作方便、人機交互友好。

1、結構組成 
  
CHY-CA改款型測厚儀主要由控制系統、測量系統、打印輸出系統三部分組成。測量系統對薄膜進行測量,并輸出相應電信號;控制系統用以參數的設定、修改、傳輸信號的處理、測量結果的顯示等;打印輸出系統的功能是統計結果的輸出,打印試驗結果。

2、功能原理 
   CHY-CA改款型測厚儀采用目前世界測量領域的技術成果,確保測量結果的高性,多次測量結果的高度一致性;且操作調試極其方便,幾近于自動化操作,zui大限度地減少了人為因素對測量結果帶來的影響;并具有手動、自動兩種測量模式,對于手動模式測量,可打印輸出測量結果,對于自動模式測量,可按照預先設置好的次數自動測試,并對測量結果進行統計、分析、打印輸出;接觸面積、測量壓力、移動速度等嚴格遵循相關標準的規定。
 
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