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高溫真空氣氛爐由爐體、加熱室、真空系統、充放氣系統、風冷循環系統、電控系統、氣動系統，水冷系統及料車組成。
高溫真空氣氛爐工作時將裝配好的工件通過料車將工件送入爐膛，然后關閉爐門，自動鎖緊，通過預設程序控制抽真空、加熱、冷卻等整個熱處理過程。
高溫真空氣氛爐爐體：
1.1爐體采用臥式雙層圓筒水冷壁結構，爐體上設置測溫接口、真空接口、充放氣接口、電極接口、風冷接口等，通過各不同規格的真空接管及法蘭與真空系統、充放氣系統、水冷電極等連接。爐體內安裝加熱室，測溫熱偶等。
1.2爐門為雙層水冷壁結構，爐門的開啟采用手動推拉方式。爐門上設觀察窗，可實時觀察爐內加熱狀況。
1.3爐體與爐門之間采用梯形槽密封結構，密封圈容易更換，可保證真空爐的密封性能。
2.高溫真空氣氛爐加熱室
2.1加熱室整體為圓筒型結構，框架為不銹鋼材質。底部設有兩組滑輪，用于進出爐體，使爐膽便于維護和更換。
2.2保溫層采用內層高溫鉬片結構，提高保溫效果，同時也能減小高壓冷卻氣體對加熱室的損壞，延長加熱室的使用壽命。
2.3加熱元件采用高溫鉬材質加熱元件，圓周分布，此布置使加熱室具有溫升速度快，溫度均勻性好，并且加熱元件使用壽命長。
2.4 絕緣件采用特殊設計的95陶瓷材質。
2.5 引入電極為專門設計的紫銅水冷電極。
2.6 配有高溫鉬料盤。
3.高溫真空氣氛爐真空系統：
3.1 真空機組為國產旋片泵（2X-30）-羅茨泵（ZJP300）。
3.2 配有高真空擋板閥門、波紋管、電磁放氣閥、管路等。
3.3真空閥門均采用氣動高真空擋板閥。該閥門的開啟與閉合均由PLC控制，且聯動互鎖，斷電時閥門自動關閉以保證爐內真空度，避免工件氧化。
3.4真空測量采用數顯真空計及配套規管，該真空計可以實現測量過程中的量程自動轉換和超程保護，并具有數據輸出、故障報警等多種功能。
4.高溫真空氣氛爐充放氣系統：
4.1包括各個充氣閥門（自動、手動）、管路附件等，并且充氣壓力可調，可實現快充及分壓調節。
4.2高溫真空氣氛爐在加熱過程中可以用此裝置對爐內真空度進行調節和控制，將真空度調節在設定范圍內，以滿足特殊材料工藝需要，防止因爐內真空度過高而造成某些低蒸汽壓元素的揮發。
4.3需要強制快速冷卻時打開自動閥門，即可向爐內充入冷卻氣體。并且可實現緩沖功能。
5.風冷循環系統：
5.1為鼓風機裝置配以翅片紫銅管及高真空閥門、管路組成的熱交換器形成內循環冷卻系統。其中翅片紫銅管為整體型擠壓結構，其換熱效果更佳。
5.2氣冷壓力根據工藝需要在允許范圍內調節，當爐內壓力達到氣冷壓力的某一設定值時充氣閥門將自動關閉，系統配備壓力裝置用以對氣冷壓力進行設定。在抽空和爐室升溫時充氣閥門無法打開。
5.3其結構具有氣流風速大，氣流面積大等特點，提高工件的冷卻效果，縮短工件出爐時間，且鼓風機具有耐溫耐壓功能。
6.高溫真空氣氛爐電控系統：
6.1高溫真空氣氛爐主要功能
電控系統由可編程控制器PLC、溫控儀、觸摸屏、晶閘管調壓器、真空計、電壓電流表、直流穩壓電源、空開、接觸器、繼電器、按鈕、指示燈等組成，以實現供電、控制、記錄、監視、報警保護功能。
系統以PLC為運算控制核心，對設備的實時狀態進行監測，操作人員通過觸摸屏的輸入以及當前狀態的判斷來產生輸出控制，直接控制由大量的繼電器執行，通過系統配備完善的安全保護功能，當設備出現異常狀況如水壓、溫度、真空、充氣壓力等出現異常，系統會發出報警。設備在使用過程中有完善可靠的自鎖互鎖保護功能，保證設備不會因操作人員誤操作而發生事故，具體設定要求有：
（a）對于溫度控制、冷卻水、工藝過程等均配有可靠的安全及報警裝置。
（b）如電源突然非正常斷電，系統應保證水循環繼續以小流量進行。
（c）如電源突然非正常斷電，系統應自動關閉真空閥等以保護爐腔環境。
（d）當爐溫達到超溫控制點時系統自動切斷爐子電源并報警。
（e）爐體加熱過程中真空度不足時爐子自動報警。
（f）爐內氣壓超過設定值時，系統能夠自動卸壓保護。
（h）羅茨泵設起動壓強聯鎖。
（i）各真空閥門系統等設相關安全聯鎖。
（j）設總電源缺相的報警與安全聯鎖。
（k）設總進水缺水的報警與安全聯鎖。