隨著現代科技的發展，掃描電鏡及其組合分析功能相繼出現，如微熱臺和冷臺系統，主要用于觀察和分析材料在加熱過程中微觀結構的變化和冷凍;平臺系統主要用于觀察和分析受力過程中發生的微觀結構變化。
掃描電鏡結合其他設備的新分析功能，在新材料、新工藝的探索和研究中發揮著重要作用。那么臺式掃描電子顯微鏡的工作原理是怎樣的呢?接下來就帶大家了解一下臺式掃描電子顯微鏡的工作原理。
臺式掃描電子顯微鏡是由電子槍發出的電子束經過柵極靜電聚焦后成為直徑50微米的點光源，然后在加速電壓作用下，經兩三個透鏡組成的電子光學系統，電子束被會聚成幾十埃大小聚焦到樣品表面。
在末級透鏡上有掃描線圈，它的功能是使電子束在樣品表面掃描。由于高能電子束與試樣物質的相互作用，產生各種信號(二次電子、背散射電子、吸收電子、X射線、俄歇電子等)，這些信號被相應的接收器接收，經放大器放大處理后經過運算電路處理，呈現在顯示屏上。
由于掃描線圈的電流與運算電路的相應偏轉電流同步，因此試樣表面任意點的發射信號與顯示屏上的亮度一一對應。也就是說，電子束打到試樣上一點時，在顯示屏上就出現一個亮點。
而我們所要觀察的試樣在一定區域的特征，則是采用臺式掃描電子顯微鏡的逐點成像分解法顯示出來的。試樣表面由于形貌不同，對應于許多不相同的單元(稱為像元)，它們在電子束轟擊后，能發出二次電子、背散射電子等信號，依次從各像元檢出信號，再一一傳送出去。
傳送的順序是從左上方開始到右下方，依次一行一行地傳送像元，直至傳送完一幅或一幀圖像。采用這種圖像分解法，就可以用一套線路傳送整個試樣表面的不同信息。
為了按照規定的順序檢測和傳送各像元處的信息，就要把聚得很細的電子束在試樣表面做逐點逐行的運動，也就是光柵狀掃描。
