化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>光學(xué)儀器及設(shè)備>光學(xué)實(shí)驗(yàn)設(shè)備>位移臺(tái)> CUBE-4系列 定制運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)
CUBE-4系列 定制運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)
- 公司名稱 無錫地心科技有限公司
- 品牌 地心科技
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/6/3 9:26:09
- 訪問次數(shù) 24
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 電動(dòng) |
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價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,能源,電子/電池,制藥/生物制藥,綜合 |
地心科技CUBE-4系列 定制運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)是XYZT 4軸一體式精密定位平臺(tái),XYZ采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),選用精密交叉滾柱導(dǎo)軌,具備非常優(yōu)秀的性能和定位精度,XY軸空載截止頻率可達(dá)120Hz以上,具備很好的速度穩(wěn)定性,在4軸疊加的臺(tái)面上方利用干涉儀5K的采樣頻率測(cè)試CUBE-4 勻速段位置誤差,每0.5mm 位置動(dòng)態(tài)跟隨誤差STD標(biāo)準(zhǔn)差小于50nm。Z軸空載截止頻率可達(dá)200Hz以上。Theta軸采用旋轉(zhuǎn)直驅(qū)電機(jī),配備圓形導(dǎo)軌和光柵,兼具高轉(zhuǎn)速和高精度。此外,Theta軸采用下沉隱藏式設(shè)計(jì),使得CUBE-4整體高度較低,工作點(diǎn)下降有利于實(shí)際應(yīng)用中提高定位精度。
此外,Z軸可在30ms內(nèi)步進(jìn)100μm,整定到±50nm。CUBE-4是一款兼具點(diǎn)到點(diǎn)的靜態(tài)精度,同時(shí)具備非常突出的動(dòng)態(tài)精度,可以適應(yīng)對(duì)動(dòng)態(tài)誤差要求嚴(yán)格的生物或者晶圓檢測(cè)掃描應(yīng)用,Z軸可以根據(jù)傳感器工作距高度實(shí)時(shí)高速調(diào)整,解決客戶的運(yùn)動(dòng)控制難題。
CUBE-4系列四軸平臺(tái)動(dòng)態(tài)性能測(cè)試
干涉儀5k采樣頻率動(dòng)態(tài)測(cè)試:XY勻速段位置跟隨誤差,每0.5mm STD標(biāo)準(zhǔn)差小于50nm
CUBE-4系列四軸平臺(tái)最小步進(jìn)測(cè)試
Z軸步進(jìn)100μm ,30ms內(nèi)整定到±50nm
備注:
(1)平行或垂直于楔形塊方向測(cè)量;
(2)空載測(cè)試;
(3)沿軸線方向受力;
(4)適配-AS反饋,配置線性放大器;
(5)默認(rèn)測(cè)試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方25 mm,單軸指標(biāo),多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān);
(6)其他行程可定制。