HORIBA LF-F / LV-F 系列數字式液體質量流量計/控制器

產品簡介

HORIBA LF-F / LV-F 系列數字式液體質量流量計/控制器 是專為微小液體流量測量和控制而設計的高性能設備。該系列產品采用冷卻測量原理，能夠實現從微升至超低流量的高精度控制，特別適用于對流量控制精度要求較高的應用場景。

產品特點

• 冷卻測量原理：采用珀爾帖元件冷卻液體，避免了低沸點化學物質沸騰的風險，實現更安全的化學控制 。

• 高精度測量：具備 ±0.5% F.S. 的高精度和 ±0.5% F.S. 的重復性，確保流量控制的穩定性和一致性。

• 快速響應：響應時間小于 3 秒（T98），滿足對流量變化快速響應的需求。

• 超潔凈設計：接液部分采用 SUS316L 不銹鋼材質，滿足超潔凈工藝要求，適用于半導體等制造領域。

• 多種通信接口：支持模擬信號輸出（0–5 VDC）和數字通信（RS-485），便于集成至自動化控制系統中。

• 廣泛的流量范圍：提供從 0.02 g/min 到 100 g/min 的多種型號，滿足不同流量控制需求 。

型號與規格

LF-F / LV-F 系列提供多種型號，以滿足不同的流量控制需求：

• LF-F20M-A / LV-F20(PO/MO)：適用于 0.02、0.05、0.1 g/min 的超低流量測量和控制。

• LF-F30M-A / LV-F30(PO/MO)：適用于 0.2、0.5 g/min 的低流量應用。

• LF-F40M-A / LV-F40(PO/MO)：適用于 1、2、5 g/min 的中低流量控制。

• LF-F50M-A / LV-F50(PO/MO)：適用于 10、20 g/min 的中等流量應用。

• LF-F60M-A / LV-F60(PO/MO)：適用于 50、100 g/min 的較高流量控制需求。

所有型號均具備 ±0.5% F.S. 的精度和 ±0.5% F.S. 的重復性，響應時間小于 3 秒（T98），接液材質為 SUS316L 不銹鋼，適用于 5 至 50°C 的操作溫度范圍，最大操作壓力為 5 MPa（僅限流量計型號）。

典型應用場景

• 半導體制造中的光刻、清洗、涂膠等工藝液體控制。

• 光電顯示產業的液體配比系統。

• 微流控與化學反應控制設備。

• 高精度試劑配液與傳輸。

• 激光加工冷卻液精控。