VDN301 愛(ài)發(fā)科真空泵葉片納米涂層+鈦合金基體
參考價(jià) | ¥ 99 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 東莞市飛粵真空科技有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科
- 型號(hào) VDN301
- 產(chǎn)地 中國(guó)東莞
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/4/10 8:54:15
- 訪問(wèn)次數(shù) 39
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BUSCH普旭,Rietschle里其樂(lè)/偉力,Leybold萊寶,Becker貝克,英國(guó)BOC Edwards愛(ài)德華,日本ULVAC愛(ài)發(fā)科,Orion好利旺,TAIKO大晃,法國(guó)ALCATEL阿爾卡特,Pfeiffer普發(fā)等。
愛(ài)發(fā)科真空泵葉片納米涂層+鈦合金基體
我公司供應(yīng)真空泵葉片 樹(shù)脂纖維材質(zhì)葉片 好用耐磨 質(zhì)量可靠。有愛(ài)德華/愛(ài)發(fā)科/萊寶/普旭/等品牌系列型號(hào)規(guī)格葉片
好耐磨樹(shù)脂纖維葉片:選用德國(guó)進(jìn)口環(huán)氧樹(shù)脂玻璃纖維板新配方原料,采用馬扎克數(shù)控加工設(shè)備精密加工生產(chǎn);
產(chǎn)品具有抗高壓 抗折彎良好性能,強(qiáng)度達(dá)到500Mpa,使用時(shí)間長(zhǎng)不易破損;
葉片直徑熱膨脹系數(shù)較小,橫經(jīng)膨脹系數(shù)較大硬度較高,膨脹系數(shù)(1.0E-6/k)為14,彈性模量達(dá)到25000Mpa,
密度2.0g/cm3,吸水性0.05%。臨界溫度為200度, 重量輕離心力小,對(duì)缸壁的磨損小,不會(huì)直接卡死;能夠滿足真空泵在任何環(huán)境運(yùn)轉(zhuǎn)使用
樹(shù)脂纖維葉片主要綜合性能表現(xiàn)為耐高溫、耐磨損、耐腐蝕、抗高壓等多種技術(shù)特性。
密度小,離心力小,對(duì)缸壁的磨損小;
熱膨脹系數(shù)小硬度高,抗高壓耐磨損耐腐蝕,耐溫180度,滿足旋片泵任何環(huán)境使用。
真空泵旋片,樹(shù)脂纖維刮片,萊寶愛(ài)德華愛(ài)發(fā)科普旭真空泵葉片
材料與工藝:納米級(jí)精密制造的硬核性能
1. 超硬復(fù)合材質(zhì),耐磨性行業(yè)
? 梯度復(fù)合結(jié)構(gòu):
- 表層:類金剛石碳(DLC)涂層,硬度HV 2500-3000,摩擦系數(shù)低至0.08
- 基體:高強(qiáng)度鈦合金(Ti-6Al-4V)或陶瓷基復(fù)合材料(CMC),抗拉強(qiáng)度≥1200MPa
實(shí)測(cè)數(shù)據(jù):
- 耐磨性較普通合金葉片提升4倍(10,000小時(shí)磨損量<0.02mm)
- 耐溫性達(dá)300℃,高溫形變率<0.03%(ASTM E228標(biāo)準(zhǔn))
? 抗化學(xué)腐蝕設(shè)計(jì):
- 通過(guò)氟化表面處理(PTFE復(fù)合層),耐受Cl?、SF?等蝕刻氣體
- 半導(dǎo)體工藝氣體兼容性認(rèn)證:SEMI F47、SEMI E49
場(chǎng)景化性能強(qiáng)化
行業(yè) | 核心挑戰(zhàn) | 愛(ài)發(fā)科解決方案 |
半導(dǎo)體光刻 | 納米級(jí)微粒污染導(dǎo)致良率下降 | DLC涂層+零顆粒釋放設(shè)計(jì)(0.1μm以上微粒<3個(gè)/小時(shí)) |
光伏鍍膜 | 高速鍍膜導(dǎo)致葉片疲勞斷裂 | 鈦合金基體+仿生蜂窩結(jié)構(gòu),抗疲勞壽命提升300% |
醫(yī)療凍干 | 生物污染風(fēng)險(xiǎn) | 通過(guò)ISO 13485認(rèn)證,表面抗菌率>99.9% |
核聚變真空腔 | 溫度與輻射環(huán)境 | 碳化硅基CMC材料,耐輻射劑量>10? Gy |
原廠認(rèn)證的不可替代性
1. 與ULVAC真空泵的協(xié)同
- 熱力學(xué)適配:葉片曲率匹配泵腔膨脹系數(shù),120℃工況下氣密間隙<0.003mm
- 智能聯(lián)動(dòng):葉片內(nèi)置RFID芯片,可實(shí)時(shí)同步磨損數(shù)據(jù)至ULVAC iPSys智能監(jiān)控平臺(tái)
2. 全生命周期成本優(yōu)勢(shì)
-實(shí)驗(yàn)室數(shù)據(jù):
- 連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)15,000小時(shí)無(wú)需更換(第三方葉片平均壽命6,000小時(shí))
- 能耗降低18%(因摩擦損耗減少,電機(jī)負(fù)載下降)
- 企業(yè)案例:
- 某12英寸晶圓廠采用后,年維護(hù)成本從¥530萬(wàn)降至¥210萬(wàn)
- 真空系統(tǒng)故障停機(jī)時(shí)間減少92%,產(chǎn)能利用率提升14%
愛(ài)發(fā)科真空泵葉片納米涂層+鈦合金基體
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