D700MG 高響應壓力非敏感質量流量控制器
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 曦源科學儀器（上海）有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場
- 型號 D700MG
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2025/4/7 15:50:41
- 訪問次數(shù) 113
產(chǎn)品標簽
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 差壓式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 環(huán)保,食品/農產(chǎn)品,化工,電子/電池,汽車及零部件 | 動態(tài)范圍 | 2 SCCM 起 |
| 支持氣體 | 支持多種氣體及單位（sccm ~ slm） | 控制精度 | ±1% S.P. |
| 響應時間 | ≤ 100 ms | 通信接口 | DeviceNet / PROFIBUS / EtherCAT 等 |
| 使用溫度 | 15°C ~ 60°C |
HORIBA D700MG 高響應壓力非敏感質量流量控制器
產(chǎn)品概述
HORIBA D700MG 是一款高響應壓力非敏感質量流量控制器，專為半導體及相關行業(yè)中對高精度、快響應和耐腐蝕性有嚴格要求的氣體輸送工藝而開發(fā)。產(chǎn)品具備優(yōu)秀的控制性能及自診斷能力，適用于刻蝕、沉積等關鍵制程。
產(chǎn)品特點
超快響應性能
D700MG 實現(xiàn)了小于 100 ms 的響應時間（符合 SEMI E17-1011 標準），顯著提升系統(tǒng)動態(tài)性能，減少氣體滯后。壓力擾動不敏感設計
內部結構與算法支持壓力擾動補償，即使在進出口壓力波動（≤ ±70 kPa/s）時也能保持穩(wěn)定流量。小流量控制能力出眾
支持 Bin101 至 Bin105 流量等級，可用于 2 SCCM 起的小流量精密控制（2 SCCM 以下不保證精度）。智能狀態(tài)監(jiān)控功能
內置診斷系統(tǒng)，可記錄：壓力和流量調零計數(shù)
閥門驅動變化次數(shù)
最大/最小流量和壓力變化 實現(xiàn)預防性維護和遠程故障預警。
增強的閥門關閉性能與耐腐蝕性
采用 PFA（全氟烷氧基）噴嘴結構，有效抑制顆粒產(chǎn)生，提高化學兼容性與系統(tǒng)純凈度。
技術規(guī)格
典型應用場景
半導體刻蝕工藝（Etching）
原子層沉積（ALD）
化學氣相沉積（CVD）
封裝及材料氣氛控制
OLED 顯示面板制造
采購中心
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