| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 差壓式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 環保,食品/農產品,化工,電子/電池,汽車及零部件 | 動態范圍 | 300 SCCM |
| 支持氣體 | N?、Ar、H?、He、O?等 | 控制精度 | ±1.0% |
| 響應時間 | ≤1 秒 | 通信接口 | 模擬電壓信號（0~5 VDC）或數字通訊（選配） |
| 使用溫度 | 5～50°C | 工作壓力 | 50～300 kPa |
HORIBA S48系列高精度(RS精度)/快速響應質量流量控制器
產品概述
HORIBA S48系列高精度(RS精度)/快速響應質量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），適用于多種氣體控制場合，兼具高精度、快速響應和高穩定性，廣泛應用于半導體制造、分析儀器、真空工藝、環境監測、光纖制造等領域。
產品特點
安裝靈活：支持任意角度安裝，提升現場布局的自由度。
高精度控制：采用多段線性調整技術，控制精度更高，調節比更寬。
快速響應：T98響應時間小于1秒，滿足快速過程控制需求。
自動零點調整：具備自動零點修正功能，有效補償環境變化帶來的偏差。
多氣體兼容：可適用于N?、O?、Ar、He、H?等多種氣體。
豐富的流量范圍：覆蓋10 SCCM至50 SLM，滿足從微量到大流量的不同應用。
技術規格
應用領域
分析儀器：用于氣相色譜、光譜儀、質譜儀等氣體控制部分。
實驗室研究：氣體混合、等離子體實驗、化學反應氣體流量控制。
半導體與真空工藝：PVD、CVD、刻蝕、擴散等工藝中的精密氣體輸送。
太陽能電池制造：氣體沉積、氣氛控制。
光纖制造：MCVD/VAD/OVD等工藝中對反應氣的精確控制。
環境監測：VOCs檢測、PM2.5分析、動態稀釋系統。
爐窯控制：氣體配比、燃燒控制等工業過程。
采購中心
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