從半導體制造到實現(xiàn)可穿戴技術所需的柔性電子產(chǎn)品，在任何需要用到導電薄膜的行業(yè)中，對方塊電阻的測量與監(jiān)控都至關重要。KLA Filmetrics R50系列四探針電阻測試儀擁有KLA方阻測量技術超過45年的創(chuàng)新積淀。自 1975 年推出電阻率計以來，KLA品牌已革新了導電層的方塊電阻和厚度測量技術。R50可對金屬層厚度、薄膜電阻、薄膜電阻率、薄膜電導和薄膜電導率進行測繪。R54是方塊電阻測量的新一代升級款，它在保持 R50相同性能情況下提供遮光環(huán)境，能夠支持半導體和化合物半導體應用。

KLA Filmetrics R50系列四探針電阻測試儀結合了KLA公司45年來在方塊電阻測量領域以及Filmetrics團隊20年來在桌面式儀器和用戶界面方面的技術。

對于較薄的金屬和離子注入層，建議采用接觸式四探針(4PP)測量方法，對于較厚的金屬層和柔性或軟性的導電表面，建議采用非接觸式渦流(EC)測量方法。我們的技術能夠滿足各種測量需求，包括但不限于以下:

經(jīng)過優(yōu)化的Filmetrics R50能夠支持各種樣品的測量需求，可以使用矩形、線性、極坐標和自定義配置等采樣點排列方式進行測繪。
KLA Instruments™ R54系列在安裝不透光外殼的情況下，能夠提供R50所具有的測量性能，并新增了X-Y-θ全自動載臺，用于半導體和化合物半導體的200mm或300mm晶圓檢測。