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MSK-PSS-MC1010磁控濺射儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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濺射儀科晶磁控濺射儀鈣鈦礦

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    深圳市科晶智達(dá)科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務(wù)于高校、研究院所、企業(yè)研發(fā)部門的國家技術(shù)企業(yè),長期致力于打造安全、高效、智能的實(shí)驗(yàn)研發(fā)一站式服務(wù)平臺,為科學(xué)研究與產(chǎn)業(yè)孵化賦能。
    深圳科晶與美國MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬M(fèi)TI-科晶聯(lián)盟,目前已經(jīng)搭建輻射的服務(wù)網(wǎng)絡(luò),精心為科學(xué)家們的實(shí)驗(yàn)室提供交鑰匙工程解決方案。


    深圳科晶創(chuàng)立初期主要為半導(dǎo)體、精密光學(xué)器件提供潔凈存儲(chǔ)和安全轉(zhuǎn)移所使用的包裝制品,產(chǎn)品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。


    公司2008年開始進(jìn)行材料相關(guān)研發(fā)設(shè)備和鋰電池實(shí)驗(yàn)設(shè)備的開發(fā),經(jīng)過十多年的積累深圳科晶現(xiàn)已成為新能源和新材料基礎(chǔ)研究、小試與中試、測試與評估的整體解決方案規(guī)劃者和提供者,產(chǎn)品應(yīng)用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級電容器、燃料電池、固態(tài)電池、鈣鈦礦太陽能電池、功能薄膜等方向。
    主要產(chǎn)品系列:按應(yīng)用與工藝更新產(chǎn)品系列
    •  材料基礎(chǔ)研究實(shí)驗(yàn)裝備(包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結(jié)、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等);
    •  電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備裝備(包括鋰離子電池、固態(tài)電池、超級電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽能電池等制備方案);
    •  電池安全測試裝備(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)等);
    •  鋰離子電池中、小試生產(chǎn)制備全流程系統(tǒng)裝備方案,交鑰匙工程(包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案);
    •  燃料電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備裝備(包括固體氧化物、質(zhì)子交換膜燃料電池等制備方案);
    •  鈣鈦礦太陽能電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備;
    •  功能薄膜研發(fā)實(shí)驗(yàn)設(shè)備(包括混料、涂布、輥壓/復(fù)合、分切、復(fù)卷等);
    •  高通量材料基因組實(shí)驗(yàn)設(shè)備(包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結(jié)、測試表征等);
   

公司設(shè)立了開放的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室和設(shè)備體驗(yàn)中心。對于鋰電池行業(yè),可實(shí)現(xiàn)公斤級別材料制備及電池研發(fā),能接受上門小批量材料驗(yàn)證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發(fā)工作。


    深圳科晶強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊(duì)支撐了豐富的產(chǎn)品鏈,針對現(xiàn)有產(chǎn)品具有*知識產(chǎn)權(quán)的發(fā)明和實(shí)用新型共40多項(xiàng)(包含PCT和國內(nèi)發(fā)明),并參與行業(yè)多項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)制定且獲得多個(gè)行業(yè)協(xié)會(huì)認(rèn)可。


    本著“精誠合作、創(chuàng)新共贏”的宗旨,深圳科晶先后與清華大學(xué)、南開大學(xué)、上海交通大學(xué)、深圳大學(xué)、中航發(fā)航材院、溧陽天目湖研究院等十多個(gè)高校機(jī)構(gòu)和企業(yè)簽署產(chǎn)學(xué)研合作。與此同時(shí),深圳科晶設(shè)立了對外服務(wù)的公共試驗(yàn)平臺,承接科研人員參觀交流與現(xiàn)場測試體驗(yàn),配備行業(yè)資深的售前技術(shù)人員協(xié)助研究者充分了解相關(guān)工藝和設(shè)備,縮短調(diào)研考察與決策時(shí)間。該實(shí)驗(yàn)室平臺也可以承接相關(guān)工藝試驗(yàn)服務(wù)和培訓(xùn)咨詢服務(wù),協(xié)助細(xì)分領(lǐng)域的科研工作者快速掌握產(chǎn)業(yè)工藝,從而專注前沿研發(fā)。

材料科學(xué)是基礎(chǔ)科學(xué)。縱觀人類科技的發(fā)展歷史,新型材料的發(fā)現(xiàn)和應(yīng)用將帶來巨大的產(chǎn)業(yè)機(jī)遇,而*實(shí)驗(yàn)裝備和儀器是為科研和應(yīng)用保駕護(hù)航的重要保障。科晶團(tuán)隊(duì)將一如既往秉承“客戶為本,技術(shù)為導(dǎo),誠信為基,積極創(chuàng)新”的運(yùn)營理念 ,竭力為科學(xué)研究和科技發(fā)展做出貢獻(xiàn)。


電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)設(shè)備(扣式電池,軟包電池,圓柱電池)

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,石油,能源,道路/軌道/船舶,汽車及零部件

MSK-PSS-MC1010磁控濺射儀

MSK-PSS-MC1010磁控濺射儀可在襯底基片上濺射一層薄膜,原理是由惰性工藝氣體產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象生成帶電離子,帶電離子經(jīng)過電場加速后轟擊固體靶材表面,使靶材表面原子和分子被轟擊飛濺出來,同時(shí)產(chǎn)生二次電子,再次撞擊氣體原子而形成更多的帶電離子,從靶材濺射出來的粒子在低壓氣氛中向硅片作渡越運(yùn)動(dòng),碰撞到襯底基片上并被基片吸附,最終凝聚在襯底形成需要的薄膜。

  功能特點(diǎn)
  • 設(shè)備設(shè)計(jì)緊湊,可與手套箱對接;

  • 極限真空度優(yōu)于5E-5Pa(干燥環(huán)境),濺射尺寸兼容多種規(guī)格,最大為100*100mm,并支持基片旋轉(zhuǎn)速度0~30rpm連續(xù)可調(diào);

  • 采用不銹鋼真空室,內(nèi)部電拋光處理,配備觀察窗、靶槍及擋板轉(zhuǎn)軸等;

  • 真空系統(tǒng)采用“分子泵+機(jī)械泵”組合,具有高效的抽速和完善的真空測量系統(tǒng);

  • 氣體控制方面,具備3路進(jìn)氣并可通過流量計(jì)精確控制;

  • 配有3個(gè)共焦向上濺射的圓形靶槍, 可以支持低氣壓濺射以減小二次電子損傷;

  • 設(shè)備提供旋轉(zhuǎn)加熱工件臺,可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速、加熱溫度以及與靶之間的距離

  技術(shù)參數(shù)
電源三相五線制AC380V±10%,頻率:50Hz,總功率約6KW
氣源壓縮空氣:干燥、干凈、無水、無油的壓縮空氣,8mm塑料氣管,壓力5.5~6公斤(0.55-0.6Mpa)
普通氮?dú)猓焊稍锏獨(dú)猓糜谠O(shè)備腔室破真空,8mm塑料氣管,壓力1-2公斤(0.1-0.2Mpa)
工藝氣體:高純,99.999%,共兩路工藝氣體,6mm不銹鋼管,其中一路為高純氬氣,壓力1~2公斤(0.1-0.2Mpa),另外兩路工藝氣體按工藝需求準(zhǔn)備
水源流量15-20升/分鐘水溫15~25℃,
進(jìn)水和出水壓差1~2公斤,進(jìn)水壓力2~3公斤,
設(shè)備的進(jìn)水和出水口外徑12mm
(建議在設(shè)備的進(jìn)水口前安裝一個(gè)球閥,方便調(diào)節(jié)水壓和水流量)
真空室304不銹鋼真空室,內(nèi)部電拋光
前后開門,門上有1個(gè)80mm觀察窗,帶擋板,防輻射
底部安裝3個(gè)靶槍及擋板轉(zhuǎn)軸
側(cè)壁及底部有備用法蘭接口以備將來使用
可拆卸不銹鋼內(nèi)襯,手?jǐn)Q拆卸方便清理
真空系統(tǒng)組成分子泵+機(jī)械泵組合式真空系統(tǒng),氣動(dòng)閥門
分子泵:中科科儀分子泵FF200/1300,抽速:1300L/s
機(jī)械泵:鮑斯BSV-30機(jī)械泵,抽速:9L/s
真空閥門:型號:DN40mm 擋板閥2套;主閥DN200 1套,可調(diào)限流閥1套,進(jìn)口薄膜真空計(jì)1套,量程0.0001torr-0.1torr,自動(dòng)調(diào)壓
真空密封:可拆靜密封采用氟橡膠圈密封,不常拆靜密封采用無氧銅密封
真空極限真空極限優(yōu)于5×10-5Pa(干燥環(huán)境)
抽速抽氣時(shí)間:大氣壓~工作真空(5*10-4Pa),約20min(對接手套箱氮?dú)猸h(huán)境)
真空計(jì)1個(gè)兩低一高2個(gè)真空計(jì),測量范圍:大氣到1E-5Pa
氣體控制3路進(jìn)氣,采用Horiba Metron(中日合資)流量計(jì)控制進(jìn)氣,流量計(jì)最大流量分別為200/100/50sccm,兩路氣體經(jīng)過流量計(jì)后混合,混合后導(dǎo)入真空室靶面
濺射靶槍3個(gè)2英寸圓形靶槍,共焦向上濺射
靶槍和工件距離80-120mm,可調(diào)節(jié)
每個(gè)靶槍帶一個(gè)獨(dú)立的電控氣動(dòng)擋板
可實(shí)現(xiàn)低氣壓濺射,減小二次電子損傷樣品基底
濺射電源1臺G-POWER功率500W自動(dòng)匹配射頻電源:
最大輸出功率500W,頻率13.56MHz,輸出采用功率控制模式,自動(dòng)匹配,匹配時(shí)間短,反射功率小于3W;
1臺北京持動(dòng)力直流濺射電源:
最大輸出功率500W,輸出可切換采用功率控制模式,恒流模式,恒壓模式,電源帶完善的異常打火,短路等保護(hù)功能耐用易用
旋轉(zhuǎn)加熱工件臺最大可放置襯底基片樣品尺寸:100mm*100mm,兼容3英寸、2英寸、φ45mm、φ30mm,以及小尺寸方形片(對角線長度小于45mm)
基片轉(zhuǎn)速0-30rpm連續(xù)可調(diào),旋轉(zhuǎn)軸水冷保護(hù)
轉(zhuǎn)軸磁流體密封
樣品臺加熱溫度:最高溫度500℃,控溫誤差±1℃
樣品臺和靶之間距離采用焊接波紋管密封電動(dòng)可調(diào),帶刻度顯示
成膜質(zhì)量:樣品范圍內(nèi)均勻性優(yōu)于±5%
控制系統(tǒng)西門子PLC+西門子觸摸屏手自動(dòng)控制系統(tǒng)
控制內(nèi)容:機(jī)械泵,分子泵,氣動(dòng)、電磁閥門、流量計(jì)等等;自動(dòng)抽真空,自動(dòng)排氣等
完整的互鎖保護(hù)(硬件、軟件互鎖)
真空室尺寸約W400*D400*H450mm
外形尺寸約W780*D930*H1820mm




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