英國WEST靜電力顯微鏡EFM高分辨率ESVM系統 WEST/英國 1100TN型 特點介紹

這是一種掃描探針顯微鏡型表面電位分布測量系統，具有尺寸為 5μm x 5μm 的懸臂。

可以測量傳統表面靜電計無法測量的約10μm的極精細表面電位分布，并且可以掃描約數mm的極寬區域。

可以以 0.5% 的高精度測量 ±1000V 的電壓。

英國WEST靜電力顯微鏡EFM高分辨率ESVM系統 WEST/英國 1100TN型 規格參數

空間分辨率： 10um以下 

懸臂尖： 5x5um2 

測量電壓范圍： ±1000V（最大±2000V） 

測量電壓精度： 0.5%滿量程 

測量電壓靈敏度： 最大20mV以下 

測量速度： 最大 30 毫秒/圖 

掃描范圍： 最大5x5mm2 

掃描步長： 最小1um 

測量模式： 定點、線、3D 

先端寸法5μmx5μmのカンチレバーを有した走査型プローブ顕微鏡タイプの表面電位分布計測システムです。

測定器外観今までの表面電位計では測定出來なかった非常に細かい10μm程度の表面電位分布を測定する事が出來、數mm程度の非常に広いエリアの走査が可能です。

±1000Vの電圧を0.5%の高精度で測定する事が出來ます。