日本DIC超純水防靜電裝置用于高壓噴射清洗 eFLOW 2AP-B01 特點(diǎn)介紹

eFLOW Series是通過(guò)使用DIC自主開(kāi)發(fā)的中空纖維透氣膜補(bǔ)充二氧化碳的方法控制超純水電阻率值的裝置。

可得到防止因靜電引起的 灰塵再次附著和基板圖形的防 靜電破壞的效果。

關(guān)于超純水防靜電裝置

• 由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，故障少

• 采用的配管分配方式，易于控制電阻率值且穩(wěn)定性優(yōu)良

主要用途

• 掩模、網(wǎng)袋的清洗• 洗滌器清洗• 高壓噴射清洗• 切割工序的清洗• 槽清洗

日本DIC超純水防靜電裝置用于高壓噴射清洗 eFLOW 2AP-B01 規(guī)格參數(shù)

裝置原理

通過(guò)調(diào)整用二氧化碳溶解模組生成的二氧化碳飽和水和超純水的混合比率，可調(diào)節(jié)超純水的電阻率值。

CO2溶解原理

DIW在模組內(nèi)的中空纖維膜內(nèi)部流動(dòng)。其間，從中空纖維膜外側(cè)CO2溶入DIW內(nèi)。溶解的二氧化碳在DIW內(nèi)發(fā)生離子化，可使DIW具有導(dǎo)電性，消除靜電。由于使用微細(xì)中空纖維膜束，可以有效獲得二氧化碳溶解所需要的表面積。

eFLOW Series是通過(guò)使用DIC自主開(kāi)發(fā)的中空纖維透氣膜補(bǔ)充二氧化碳的方法控制超純水電阻率值的裝置。

可得到防止因靜電引起的 灰塵再次附著和基板圖形的防 靜電破壞的效果。

關(guān)于超純水防靜電裝置

• 由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，故障少

• 采用的配管分配方式，易于控制電阻率值且穩(wěn)定性優(yōu)良

主要用途

• 掩模、網(wǎng)袋的清洗• 洗滌器清洗• 高壓噴射清洗• 切割工序的清洗• 槽清洗