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英國KP開爾文探針WF

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開爾文功函數(shù)KP開爾文探針

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昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司是專業(yè)的半導(dǎo)體及微電子領(lǐng)域儀器設(shè)備供應(yīng)商,昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司所代理的儀器設(shè)備廣泛用于高校、研究所、半導(dǎo)體企業(yè)。

昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司目前代理的主要產(chǎn)品包括:

- 霍爾效應(yīng)測試儀(Hall Effect Measurement System);

- 快速退火爐(RTP);

- 回流焊爐,真空燒結(jié)爐(Reflow Solder System);

- 探針臺(Probe Station),低溫探針臺(Cryogenic Probe Station);

- 貼片機(jī)(Die Bonder),劃片機(jī)(Scriber),球焊機(jī)/鍥焊機(jī)(Wire Bonder);

- 原子層沉積系統(tǒng)(ALD),等離子增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備(PEALD);

- 磁控濺射鍍膜機(jī)(Sputter),電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)(E-beam Evaporator),熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)(Thermal Evaporator),脈沖激光沉積系統(tǒng)(PLD) ;

- 低壓化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(LPCVD),等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),快速熱化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(RTCVD);

- 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(RIE),ICP刻蝕機(jī),等離子體刻蝕機(jī);

- 致冷機(jī)/低溫恒溫器(Cryostat/Cryocooler);

- 加熱臺、熱板、烤膠臺 (Hot Chuck / Hot Plate);

- 掃描開爾文探針系統(tǒng)(Kelvin Probe),光反射膜厚儀(Reflectometer);

- 高溫超導(dǎo)磁體(HTS Magnet),快速場循環(huán)核磁共振弛豫測試儀(FFC Reflexometer);






原子層沉積系統(tǒng),快速退火爐,PECVD,刻蝕機(jī)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子,綜合

開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置,用于測量導(dǎo)體材料的功函數(shù)(Work Function)或半導(dǎo)體、絕緣表面的表面勢(Surface Potential)。

材料表面的功函數(shù)通常由最上層的1-3層原子或分子決定,所以開爾文探針是的表面分析技術(shù)。

我們的開爾文探針系統(tǒng)包括:

□   單點(diǎn)開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境);

□   掃描開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境);

□   超高真空(UHV)開爾文探針;

□   濕度控制的腐蝕開爾文探針;


 

掃描開爾文探針系統(tǒng) (ASKP)

    ASKP系統(tǒng)是一款可以被大多數(shù)客戶所接收掃描開爾文探針系統(tǒng),它是在SKP基礎(chǔ)之上包括了彩色相機(jī)/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數(shù)字示波鏡等配置,其規(guī)格如下:

□    2毫米,50微米探針;

□    功函數(shù)分辨率 1-3 meV(2毫米針尖),5-10 meV(50微米針尖);

□    針尖到樣品表面高度可以達(dá)到400納米以內(nèi);

□    表面勢和樣品形貌3維地圖;

□    探針掃描或樣品掃描選配;

□    彩色相機(jī)、調(diào)焦鏡頭、TFT顯示器和專業(yè)的光學(xué)固定裝置;

□    參考樣品(帶相應(yīng)的掃描開爾文探針系統(tǒng)的形貌);

□    備用的針尖放大器;

□    24個月超長質(zhì)保期;




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