NanoFlip SEM原位納米壓痕儀

NanoFlip In SEM/FIB

KLA InSEM 系列可以和各個SEM和FIB廠商的主流型號聯(lián)合工作，包括FEI、Jeol、Tescan、Zeiss 等等。

電磁力驅(qū)動載荷激發(fā)器

KLA 公司全系列的力學(xué)測試產(chǎn)品均采用電磁驅(qū)動原理的加載力激發(fā)器。對納米壓痕物理模型和線性特性的電磁力驅(qū)動原理的深刻理解，以及高靈敏度的三片式電容傳感器的設(shè)計，保證全系列納米力學(xué)產(chǎn)品在整個量程范圍內(nèi)均能得到高精準(zhǔn)、高分辨的控制。

KLA InSEM 系列：超前的激發(fā)器的結(jié)構(gòu)設(shè)計，*實現(xiàn)載荷和位移的分別控制和探測，實現(xiàn)納米壓痕檢測，包括動態(tài)力學(xué)測試、軟材料測試、及薄膜測試等等。

InForce50 載荷激發(fā)器 載荷激發(fā)器

• zui大加載載荷： 50mN

• 縱向載荷分辨率： 3nN

• 壓頭zui大移動范圍：45um

• 位移噪音背景:<0.01nm

• 位移數(shù)字分辨率：<0.002nm

InForce1000 載荷激發(fā)器 載荷激發(fā)器

• zui大加載載荷： 1000mN

• 縱向載荷分辨率： 6nN

• 壓頭zui大移動范圍：80um

• 噪音背景:<0.1nm

• 位移數(shù)字分辨率：<0.004nm

NanoFlip 的樣品臺處于“Up”狀態(tài)時，SEM/FIB 可以方便的觀察樣品和進(jìn)行微區(qū)定位，當(dāng)樣品臺處于“Down”狀態(tài)時，SEM/FIB 又可以對整個力學(xué)實驗過程進(jìn)行實時觀察并進(jìn)行實時的視頻捕捉。

數(shù)據(jù)采集 數(shù)據(jù)采集 ( (InQuest 控制器 控制器) )

業(yè)內(nèi)響應(yīng)時間zui快、數(shù)據(jù)采集率zui高的控制系統(tǒng)，實現(xiàn)材料瞬間變化的捕捉:

• 數(shù)據(jù)zui高采集率：100kHz

• 控制器時間常數(shù)：20us

高精度的納米馬達(dá)臺

• X 向zui大行程：20 mm

• Y 向zui大行程：20 mm

• Z 向zui大行程：25 mm

• Encoder X-Y-Z sensor resolution： 4 nm

橫向加載控制

NanoFlip 可提供 Gemini 雙子星選件，業(yè)內(nèi)真正實現(xiàn)原位橫向力和橫向位移的直接測量，業(yè)內(nèi)在納米尺度上精準(zhǔn)的實現(xiàn)多維度的磨損測試，實現(xiàn)多維度的動態(tài)力學(xué)

工作模式：

• 測量材料的摩擦系數(shù)或泊松比

• 精確的載荷、位移、動態(tài)響應(yīng)在橫向和縱向的控制

• 多維度的硬度、磨損、黏附性的精準(zhǔn)測量

• 亞納米級移動精度的樣品臺，實現(xiàn)精確定位

• 實現(xiàn)橫向的納米和納牛級的準(zhǔn)靜態(tài)和動態(tài)測試

KLA 全系列的 InSEM 產(chǎn)品的動態(tài)測試附件是由連續(xù)剛度技術(shù)的發(fā)明人研發(fā)的：動態(tài)力學(xué)測試原理為在準(zhǔn)靜態(tài)加載過程中，施加在壓頭上一個正玄波，從而表征出隨著壓痕深度、載荷、時間或者頻率的變化材料力學(xué)性能的變化：

• 動態(tài)激發(fā)頻率：0.1Hz-1000Hz

• 單次動態(tài)力學(xué)測試可以代替>100 次靜態(tài)力學(xué)測試結(jié)果

• 在微小的力和位移測試下提供超精準(zhǔn)的動態(tài)力學(xué)測試

• 實現(xiàn)檢測高分子材料的復(fù)合彈性模量

• 實現(xiàn)檢測軟材料蠕變性能

原位快速表面 表面 3D 力學(xué) 力學(xué)性能 性能 Mapping 功能

• 快速的樣品表面硬度和楊氏模量的 Mapping 功能。

• 同時給出不同成分的力學(xué)結(jié)果的統(tǒng)計數(shù)據(jù)。

• 不受樣品表面粗糙度和其它因素的影響

原位快速表面4D力學(xué)性能性能Mapping功能

KLA 的 NanoBlitz 4D 再次極大的擴(kuò)展了 已經(jīng)得到全行業(yè)認(rèn)可的連續(xù)剛度測試功能（ Continuous Stiffness

Measurement ) ，可以快速獲取到樣品硬度和楊氏模量在 XY向上的分布情況以及由表往里隨樣品壓入深度的變化情況，

用戶通過自定義恒應(yīng)變速率，非常快速(7s/點)的對各種樣品和復(fù)合材料進(jìn)行力學(xué)研究，也可以應(yīng)用于各種失效分析

KLA InSEM 系列可以和各個SEM和FIB廠商的主流型號聯(lián)合工作，包括FEI、Jeol、Tescan、Zeiss 等等。

KLA 公司全系列的力學(xué)測試產(chǎn)品均采用電磁驅(qū)動原理的加載力激發(fā)器。對納米壓痕物理模型和線性特性的電磁力驅(qū)動原理的深刻理解，以及高靈敏度的三片式電容傳感器的設(shè)計，保證全系列納米力學(xué)產(chǎn)品在整個量程范圍內(nèi)均能得到高精準(zhǔn)、高分辨的控制。KLA InSEM 系列：*的激發(fā)器的結(jié)構(gòu)設(shè)計，*實現(xiàn)載荷和位移的分別控制和探測，實現(xiàn)納米壓痕檢測，包括動態(tài)力學(xué)測試、軟材料測試、及薄膜測試等等。

InForce50 載荷激發(fā)器 載荷激發(fā)器

• 加載載荷： 50mN

• 縱向載荷分辨率： 3nN

• 壓頭移動范圍：45um

• 位移噪音背景:<0.01nm

• 位移數(shù)字分辨率：<0.002nm

InForce1000 載荷激發(fā)器 載荷激發(fā)器

• 加載載荷： 1000mN

• 縱向載荷分辨率： 6nN

• 壓頭移動范圍：80um

• 噪音背景:<0.1nm

• 位移數(shù)字分辨率：<0.004nm

NanoFlip 的樣品臺處于“Up”狀態(tài)時，SEM/FIB 可以方便的觀察樣品和進(jìn)行微區(qū)定位，當(dāng)

樣品臺處于“Down”狀態(tài)時，SEM/FIB 又可以對整個力學(xué)實驗過程進(jìn)行實時觀察并進(jìn)行實

時的視頻捕捉