日本日新化成粉體異物檢查裝置PIE-C3

在利用光散射的掩模版/掩模異物檢查裝置中，重要的技術要素是區分來自異物的散射光（異物光）和來自圖案的散射/衍射光（圖案光）。在PD系列中，我們主要將散射光的偏振特性用于判別。在初的設備中，使用了光學系統的布置和偏振片對圖案光的消光，在下一個系列中，使用了熄滅圖案光的檢測器與熄滅外來光的檢測器之間的信號強度比。此外，近的模型集中于圖案光和異物光的信號形狀來執行信號處理。xin的PRPD3采用了一種判別方法，該方法涵蓋了傳統判別方法的優點，并將其用作可以處理更多模式的信號處理方法。

日本日新化成粉體異物檢查裝置PIE-C3

PIE-C3で検査することのメリット

検査制度の信頼性

• 測定者の能力による誤差が無くなる。
• 検査精度にすぐれ、データの信頼性が高い。
• 操作が簡単で約15分（100g検體）でカラーカメラでの検査が可能（分解能：約20、事項検出力：50を保証）

検査データの客観性

• データの共有化、他社との互換性に生かせる。
• 検出異物の畫像を付屬PCへ取り込み、異物の畫像管理が容易。

経済性?作業効率

• 操作が簡単でしかも短時間に検體の処理ができる。
• 拘束時間が少なく、併行して他の仕事が行える。
• 検査工數の削除につながる。
• 測定者の疲労が少ない。