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片盒清洗機Cassette Cleaner

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大家好!無錫亞電智能裝備有限公司是半導體晶圓行業濕法制程服務商,專注于晶圓前道濕法刻蝕清洗技術,是*批推進半導體設備國產化的企業之一。公司核心產品為6吋、8吋、12吋濕法刻蝕清洗設備,包括槽式設備和單片設備,涵蓋多種前道濕法工藝,如:B Clean,Oxide Remove,Nitride Remove,PRStrip,Particle Remove,Solvent Clean,Wafer Reclaim,Metal Etch等。此外,為應對個性化的清洗需求,公司還研發了多種輔助清洗機臺,如:爐管清洗機,片盒清洗機,部件清洗機,本地化學品供液設備,濕法工作臺,烘箱等。目前已與無錫上華、寧波中芯、廣州粵芯、無錫華虹、重慶華潤微電子等客戶達成友好合作。

半導體產品、液晶、太陽能光伏、環保設備的研發、制造、維修

產地類別 國產 價格區間 面議
儀器種類 專用型 應用領域 電子/電池

無錫亞電智能裝備有限公司(AEL)坐落于江蘇省無錫市,是一家半導體設備制造企業,主要從事8寸和12寸半導體濕法設備及其輔助設備的設計和制造。目前該公司的產品包括:8寸和12寸 Wet bench,8寸和12寸爐管清洗機、Cassette&Foup清洗機、Parts清洗機,CDS等,同時該公司也承接半導體濕法設備的維修和改造業務。 該公司在國內廠房占地約3000平米,其中無塵車間占地約1000平米。目前公司正在江蘇泰州籌建12寸 single 設備廠,占地面積100余畝,預計未來的3~5年時間12寸 single 設備可以研發成功并投入使用。 AEL設計制造的8寸和12寸wet bench 國內外累計17臺,涵蓋:DHF、BOE、SC1、SC2、Solvent、SPM、Nitride、EGBHF等工藝。其中2018年該公司為華潤上華設計制造的8寸130nm制程 cassetteless wetbench已投入生產中。 *的半導體濕法工程師,共同組建一支集研發、設計、制造、工藝解決為一體的專業團隊,國內設備和工藝團隊主要由*業內的外資企業和國內企業***工程師組成(如:Intel、SKhynix、CSMC、SIMC等);外籍設備和工藝團隊主要由日韓等*從事半導體濕法設備研發設計制造的*工程師組成。半導體濕法設備研發設計制造經驗不低于十年以上的中高級工程師15人。在其逐漸成長的過程中累計了大量的生產一線經驗,具備和一線廠商競爭的實力。



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