掩膜計量系統(tǒng)

證明您的質(zhì)量

為了說明產(chǎn)品是符合規(guī)范的，您必須證明激光掩膜上的圖形能夠在制造顯示屏?xí)r恰當(dāng)?shù)貙R。為了實現(xiàn)這一點，您需要比光刻機精度更高的測量設(shè)備。
 

主要優(yōu)勢

*更佳的配準(zhǔn) 30%

*更好地將掩膜套合到掩膜上  20%

*更短的周轉(zhuǎn)時間30%

· 創(chuàng)新性Prexision平臺具備優(yōu)異的精準(zhǔn)度與可重復(fù)性

· 用我們的技術(shù)改善配準(zhǔn)測量。

· 因為*次測量的結(jié)果精確無誤，這大大給您節(jié)省了周轉(zhuǎn)時間。

· 充分發(fā)揮我們的Prexision光刻機的潛力。

基于較精確的Prexision平臺打造出的Prexision-MMS將對大面積的配準(zhǔn)測量帶到了全新的高度。現(xiàn)在，您可以證明您的光掩膜質(zhì)量究竟有多好了！

為充分利用其性能，您的測量系統(tǒng)性能對于精密調(diào)校光刻機也是極其重要的，這樣您的光掩膜才能以高的質(zhì)量描繪出來。

 Prexision-MMS 提供兩個型號。G8 型高可處理用于 8 代顯示器玻璃尺寸的掩模尺寸。對于 G10 型，高可處理 11 代顯示器尺寸。

技術(shù)指標(biāo)