工具測量顯微鏡又稱工具制造用顯微鏡，是一種工具制造時所用高精度的二次元坐標測量儀。它是利用光學原理將工件成像經物鏡投射至目鏡即借著光線將工件放大成虛像，再利用裝物臺與目鏡網線 等輔助，以作為尺寸、角度和形狀等測量工作，可作為檢驗非金屬光澤的工件表面。此種儀器在立柱上裝有一顯微鏡，放大倍率從10倍至100倍間等數種倍率，工具顯微鏡的測量系統光源 ( 燈炮 ) 通電后，光線依次經過二個透鏡濾熱鏡 ( 片 )、鏡徑薄膜、透鏡、反射鏡、裝物臺、物鏡、反射鏡、目鏡等，工件與物鏡間的距離，隨著放大倍率和工件厚薄，可利用對焦旋鈕調至理想位置。

工具測量顯微鏡測量用途

測量各種金屬加工件、沖壓件、塑料件的直徑、長度、角度、孔的位置等； 測量各種成型零件如樣板、樣板車刀、樣板銑刀、沖模和凸輪的形狀；

測量各種刀具、模具、量具的幾何參數；

測量螺紋塞規，絲杠和蝸桿等外螺紋的中徑、大徑、小徑、螺距、牙型半角；

測量齒輪滾刀的導程、齒形和牙型角；

測量印刷電路板上的線長寬度、距離和元件焊裝孔的尺寸和位置；

測量各種零件的二維形位公差。

技術參數：

工作臺

測量行程（mm）

X坐標：200 Y坐標：100 X、Y坐標測量分辨率：0.0002mm X、Y坐標準確度：(1+L/100)μm， 式中L為被測長度，單位為mm

方工作臺尺寸（mm）：260×270 方工作臺承放工件高度（mm）：140

顯微鏡立柱

角度傾斜范圍：±12° 角度傾斜分度值：30′