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ETSys-Map在線薄膜測量系統

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光譜橢偏儀,激光橢偏儀,在線橢偏儀,

產地類別 國產

ETSys-Map在線薄膜測量系統是針對納米薄膜研發和質量控制領域中大面積樣品檢測專門設計的在線薄膜測量系統。

ETSys-Map在線薄膜測量系統用于對1.4m * 1.1m及以上的大面積樣品進行在線檢測。可測量光滑平面基底上的納米薄膜,包括單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數k;并可同時測量塊狀材料的折射率n和消光系數k。可測量樣品上區域的樣品參數以及樣品表面的均一性分布。

ETSys-Map融合量拓科技在高精度激光橢偏儀的*技術和產品設計方面的經驗,性能。

特點:

  • 微米量級的全面積掃描精度

    *的系統設計,能夠使探頭到達樣品上每個點,掃描精度達到微米量級。

  • 原子層量級的膜厚分析精度

    采用非接觸、無破壞性的橢偏測量技術,對納米薄膜達到*的測量準確度和靈敏度,膜厚測量靈敏度可達到0.05nm。

  • 簡單方便安全的儀器操作 

    用戶只需一個按鈕即可完成復雜的材料測量和分析過程,數據一鍵導出。豐富的模型庫、材料庫方便用戶進行高級測量設置。



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