化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>勻膠機(jī)>SZ-KW-12A 勻膠機(jī) 電機(jī)轉(zhuǎn)矩大 勻膠效率高
SZ-KW-12A 勻膠機(jī) 電機(jī)轉(zhuǎn)矩大 勻膠效率高
- 公司名稱 山東桑澤儀器儀表有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) SZ-KW-12A
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時(shí)間 2018/5/30 22:47:47
- 訪問(wèn)次數(shù) 563
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) |
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SZ-KW-12A勻膠機(jī)電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),特別是電機(jī)轉(zhuǎn)矩大,優(yōu)于同類(lèi)產(chǎn)品。吸片采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾個(gè)勻膠機(jī)工作,提高了效率。
SZ-KW-12A勻膠機(jī)主要用于光刻膠涂布、涂硼等工藝過(guò)程,該設(shè)備具有勻膠效率高,使用方便等特點(diǎn)。其勻膠速度、時(shí)間分多個(gè)時(shí)段,并分別無(wú)級(jí)可調(diào)。
主要技術(shù)參數(shù):勻膠機(jī) 電機(jī)轉(zhuǎn)矩大 勻膠效率高
1.速度范圍 100-4500或者7000
2.轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 ±1%
3.4個(gè)速度、時(shí)間段(1V、2V、3V、4V)
4.加速*性(誤差)±0.5%
5.膠的均勻性 ±1.5%
6.勻膠時(shí)間 0-200秒
7.裝片直徑 選擇10/20/30……180mm
8.八組程序(A1-A8)
9.外形尺寸 250x300x300mm 重量:10KG
10.工作電源 AC220V 50Hz 功率 200W
配置:
勻膠機(jī)主機(jī) 一臺(tái)
接膠盤(pán) 工位數(shù)量和對(duì)應(yīng)吸盤(pán)的尺寸
配套吸盤(pán) 工位數(shù)量
真空泵 自備、另購(gòu)
操作步驟:
1、接通外部真空系統(tǒng),接通外電源,打開(kāi)電源開(kāi)關(guān),用【工藝參數(shù)】鍵,選擇“A1”,若需要修改速度和時(shí)間,按一下【運(yùn)行修改】鍵,結(jié)合【↑】【↓】鍵,再用【+】【-】鍵調(diào)速度和時(shí)間至工藝要求,若有實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差,有微調(diào)的辦法。勻膠機(jī) 電機(jī)轉(zhuǎn)矩大 勻膠效率高
2、放基片于吸盤(pán)中心處,打開(kāi)紅色真空開(kāi)關(guān),檢查基片是否吸牢,(嚴(yán)禁對(duì)小于吸盤(pán)抽氣槽外圓的基片涂膠)。將適量光刻膠滴于基片中心處,按下綠色勻膠開(kāi)關(guān),。。。。。。(有異常情況,可按一下綠色的勻膠啟動(dòng)按鈕,吸盤(pán)將停止)等待電機(jī)停止轉(zhuǎn)動(dòng)后,關(guān)閉真空、取片。
3. 根據(jù)光刻膠的粘度和工作環(huán)境溫度選擇適當(dāng)轉(zhuǎn)速,一般勻膠時(shí)間大約5~20秒之間。
4. 將勻過(guò)膠的玻璃片立放在玻璃卡盤(pán)上放入金屬盒中,根據(jù)膠的要求放入溫箱進(jìn)行前烘,一般的光刻膠前烘溫度90℃30分鐘。
5. 勻膠機(jī)必須關(guān)閉上蓋后啟動(dòng)、勻膠機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)嚴(yán)禁用手觸摸。用手去抓勻膠機(jī)吸盤(pán),能導(dǎo)致本機(jī)保護(hù),需返廠處理,請(qǐng)知悉。