經典款膜厚儀CMI900射線源參數介紹：

空冷式微聚焦型X射線管，Be窗

標準靶材：Rh靶；任選靶材：W、Mo、Ag等

功率：50W(4-50kV，0-1.0mA)

裝備有安全防射線光閘

二次X射線濾光片：3個位置程控交換，多種材質、多種厚度的二次濾光片任選

準直器系統

單準直器組件

多準直器自動控制組件：zui多可同時裝配6種規格的準直器

經典款膜厚儀CMI900多種規格尺寸準直器任選：

－圓形，如4、6、 8、 12、13、20 mil等

即0.102、0.152、0.203、0.305、0.330、0.508mm

－矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16mil等

即0.025*0.05、0.05*0.05、0.013*0.254、0.025*0.254、0.051*0.254、0.102*0.406mm

測量斑點尺寸

在12.7mm聚焦距離時，zui小測量斑點尺寸為：0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm<即1x2mil>準直器)

在12.7mm聚焦距離時，zui大測量斑點尺寸為：0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm<即圓形12mil>準直器)

樣品室

開槽式樣品室

經典款膜厚儀CMI900樣品臺尺寸：

zui大610mm x 610mm

XY軸移動范圍

標準：152.4 x 177.8mm<程控> 

Z軸程控移動高度

43.18mm

XYZ軸控制方式

多種控制方式任選：

XYZ三軸程序控制；

XY軸手動控制和Z軸程序控制；

XYZ三軸手動控制

樣品觀察系統

高分辨彩色CCD觀察系統，標準放大倍數為30倍。

50倍和100倍觀察系統任選。

激光自動對焦功能

可變焦距控制功能和固定焦距控制功能

計算機系統配置

IBM計算機

惠普或愛普生彩色噴墨打印機

分析應用軟件

操作系統：Windows XP中文平臺

分析軟件包：SmartLink FP軟件包

測厚范圍

可測定厚度范圍：取決于您的具體應用。

基本分析功能

采用基本參數法校正。牛津儀器將根據您的應用提供必要的校正用標準樣品；

樣品種類：鍍層；