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化工儀器網>產品展廳>化工機械設備>真空設備>真空應用設備> 熱蒸發鍍膜機

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熱蒸發鍍膜機

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公司名稱(現用名):北京維意真空技術應用有限責任公司
公司名稱(曾用名):北京科立方真空技術應用有限公司
覆蓋區域:北京、天津、河北

 

       北京維意真空技術應用有限責任公司,原名北京科立方真空技術應用有限公司,創立于2013年,位于中國·首都北京密云經濟技術開發區,主體經營分為真空配件銷售、真空設備定制、淺藍納米科技三個部分,是北京從事真空產品設計、制造、銷售、維修、保養于一體的專業性的公司,公司擁有一支專業、優秀的產品技術工程師和維修技術工程師,具有豐富的行業經驗,同時還與北京工業大學聯合研發等離子體增強化學氣相沉積系統,與北京交通大學聯合研發原子層沉積系統,滿足高校、研究所的教學、科研使用,同時減少相關進口設備的*,并力爭創造外匯,打出中國創造的品牌!  


       我們的客戶遍布北京各高校和研究院所、部分*單位和電力試驗所、各級的材料、物理、化學、納米等研究領域*的實驗室,期待您就是我們的下一位客戶、朋友!

 

       您的滿意微笑是我們一直努力追求的經營目標!
       技術創新、業務專業、服務誠信是我們一直遵循的經營理念!

 

       我們熱誠歡迎國內外*的儀器制造商及科學工作者與我們聯系開展各層面的合作,打造成真空系統產品、等離子體增強化學氣相沉積系統和原子層沉積系統供應商。

ALD設備,PECVD設備

*** 常規配置:

真空腔室

L400×W400×H450,前后開門結構,SUS304不銹鋼材質

真空系統

復合分子泵+直聯旋片泵,超高真空插板閥,“兩低一高”數顯復合真空計

極限真空

優于5.0×10-5Pa(如需獲得更高的真空度可選擇進口真空泵組)

基片臺

基片臺直徑≤120mm;基片臺加熱:室溫~300℃;基片臺旋轉及光控定位

蒸發源

6組蒸發源(舟式源或掛絲源,兼容有機材蒸發)

膜厚控制

掩膜及膜厚控制系統:定制掩膜機構

采用晶振膜厚儀在線監測、控制膜厚

手套箱系統

手套箱箱體尺寸:大箱體L1800/1200×W750×H900mm

箱體泄露率<0.05vol%/h,標準環境箱體內水、氧指標<1ppm

控制方式

鍍膜系統采用手動或PLC觸摸屏控制,手套箱系統采用PLC+觸摸屏控制

報警及保護系統

對泵、電極等缺水,過流過壓,斷路等異常情況進行報警并執行相應保護措施;完善的邏輯程序互鎖保護系統



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