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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>恒溫/加熱/干燥>馬弗爐/電阻爐/實驗爐>TCVD--OTF-1200X-S2-50SL 小型雙爐體滑動管式爐

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TCVD--OTF-1200X-S2-50SL 小型雙爐體滑動管式爐

具體成交價以合同協議為準
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管式爐滑動MTI

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　　合肥科晶材料技術有限公司成立于1997年，是由一群來自麻省理工學院和加州大學伯克利分校的材料研究人員創辦的美國MTI公司與中科院合肥物質科學研究院合資興辦的高新技術企業。主要生產氧化物晶體(A--Z)和材料實驗室成套設備：包括“混料-壓料-燒料”(混料機、壓片機、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機、自動研磨、拋光機)。公司自主研發生產上百款不同規格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產品，其中包括：箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機、清洗劑及新能源鋰離子電池研發等相關實驗室設備。現已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實驗室設備的*，為科研工作者提供材料研究解決方案。產品設計*、性能優異，質量可靠，性價比高，環保節能、返修率低，遠銷到歐洲，美國，日本，德國等許多國家，廣泛應用于物理、化學、冶金、醫學、新能源材料研發等領域，受到客戶*好評。
 
　　科晶公司秉承"以人為本、技術為導、誠信為基、積極創新"的經營理念,全力打造材料研發設備的品牌,竭力為科學進步和社會發展做出貢獻。
 

真空管式爐，高溫箱式爐，高速震動球磨機，RTP快速退火爐，高溫高壓爐，涂覆機，電池制備設備等

OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐，爐管為Φ50×1400mm的石英管，并配有不銹鋼密封法蘭，儀器zui高溫度可以達到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動，實現對原材料的蒸發/升華，及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現對樣品快速加熱，zui大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質量流量計（MFC）控制的供氣系統和等離子射頻電源來搭建TCVD系統。
 

技術參數

爐體結構
  • 兩個爐體在一個滑動軌道上，爐體zui高工作溫度1200℃
  • 每個爐體加熱區為200mm,恒溫區為60mm
  • 一個滑動軌道安裝在兩爐體底部，可手動推動爐體滑動
  • 儀器中配有不銹鋼密封法蘭

總功率

2.5KW

電壓

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz, （需要20A的空氣開關）

zui高工作溫度

1200℃

連續工作溫度

1100℃

加熱&冷卻速率

  加熱速率:

 15°C/sec (RT - 150°C);

 10°C/sec (150°C - 250°C);

  7°C/sec (250°C - 350°C);

  4°C/sec (350°C - 500°C);

  3°C/sec (350°C - 550°C);

  2°C/sec (550°C - 650°C);
  1°C/sec (650°C - 800°C);
  0.5°C/sec (800°C - 1000°C);

冷卻速率:

15°C/sec (1000 - 950°C);

10°C/sec (950°C - 900°C);

7°C/sec (900°C - 850°C);

4°C/sec (850°C - 750°C);

2°C/sec (750°C - 600°C);
1.5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0.5°C/sec (400°C - 300°C);

注意: 

zui大加熱和冷卻速率是通過爐體滑動來實現的，將爐體加熱到目標溫度，然后滑動爐體到樣品位置來實現快速加熱。對樣品加熱后，滑動爐體，使樣品暴露在加熱區外，來實現快速冷卻

 

加熱區長度

每個爐體的加熱區為200mm

恒溫區

60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金

爐管
  • 高純石英管
  • 尺寸：50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL

溫度控制系統
  • 兩個爐體都采用PID方式來調節溫度，可設置30段升降溫程序。
  • 控溫儀表操作視頻
  • 設置有超溫和斷熱偶報警
  • 包括2個K型熱電偶（已安裝在爐體上）
  • 可選:可選擇控制模塊MTS-02，可使用電腦來控制爐體的升降溫
     （點擊圖片查看詳細資料）

真空法蘭
  • 儀器中包含一對不銹鋼密封法蘭，法蘭上安裝有機械壓力表
  • 可選購KF25接口的法蘭（提高抽氣速率)，數顯真空計
     

滑軌長度

1200mm

真空度
  • 10E-5 torr（采用分子泵）
  • 10E-2 torr（采用機械泵）
  • 可在本公司選購真空泵
     

可選
  • 可選擇電動滑軌，更好的控制快速升降溫速率
  • 1-9通道質量流量計（MFC）控制的供氣系統
  • 100W-500W的射頻等離子源
  • 這些模塊與管式爐配合可搭建起等離子增強的TCVD系統
      

尺寸

1500 x 380 x 620 mm（爐體＋滑軌）

凈重

約80kg

質保期

一年質保期，終身維護（不包括爐管、密封圈和加熱元件）

質量認證
  • CE認證
  • 所有電器元件（輸入電壓>24V）都通過了UL/MET/CSA認證
  • 本公司保證此設備通過TUV(UL61010）或CSA認證（需額外出認證費用）
        

使用注意事項
  • 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
  • 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加安全
  • 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM
  • 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態


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