特點：
★ 升溫速度可精確控制，精度達±0.25℃
★ 體積小巧，占地空間小
★ 真空漏率優秀，真空度高
★ 探針種類豐富，可根據用戶需求進行定制
★ 模塊化設計，可根據客戶要求定制
用途：
光電測試加熱探針臺測試儀，用于芯片、氣敏元器件等在不同氣氛環境下電學性能，也可用于材料分析。廣泛應用于半導體電學性能測試、物理研究、氣敏分析、鋰電池測試、LED、LCD、二維材料測試、電鏡掃描、太陽能電池等行業的制造和研究領等系統中的重要部件。
光電測試加熱探針臺測試儀產品規格參數：
項目 | 訂貨代碼 | HR24-4 | HR24-6 |
主體 | HR24-4 | 腔體材質：AL6061 (可定制SUS304腔體) 通光口直徑：φ5mm | |
HR24-6 | |||
探針組件 （單組價格） | V2 | 真空型同軸接口探針夾具（普通型，需要抽真空時選擇） | |
V3 | 真空型三軸接口探針夾具（抗干擾性強，應用于半導體，需要抽真空時選擇） | ||
探針規格 | 000T | 鍍金，50μm(可選：1μm、5μm、10μm、20μm、50μm、100μm、200μm) 例：010T代表10μm尺寸的探針。 | |
信號線纜 | R1 | 單頭甩空線 | |
R2 | 雙頭線 | ||
水冷機 | W | 溫度高于200℃范圍需要配置水冷機 | |
高溫控制系統 | H | 高溫控制器:RT～600℃，控制精度±0.25℃，分辨率0.1℃ | |
真空系統 | MP | 機械泵（飛躍）:2.2L/S(真空度1*10-1Pa)（不包含真空計） | |
TP | 分子泵組（Leybold）:90L/S(真空度5*10-5Pa) 復合真空計（Leybold ):PTR90(大氣至5*10-7Pa)主體需要采用 不銹鋼材質，才能抽到高真空 | ||
顯微鏡 | PM | 體式顯微鏡:ZOOM645S（環形光源） | |
CM | CCD：200萬像素 | ||
DP | 戴爾顯示器：21寸 | ||
SJ | 視頻顯微鏡+10寸顯示屏（100萬像素） | ||
光催化氙燈光源 | XL | CEL-PF300-T6(20個太陽光) | |
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