微粒表面塵埃粒子理化分析儀QIIISM 是一款用于測量和檢測機臺表面微粒子SPD的精密儀器，它采用目前的技術來實現量測的精確性和機臺的穩

定性。人的肉眼很難看清直徑在 100um 以下的粒子，這些粒子會快速沉降，逃

避常規的空氣檢測從而聚積在關鍵表面或產品上，從而減少產品的良率及降低產

品的穩定性，QIII SM 表面粒子檢測器測量（0.3~10um）的粒子，對于生產環 境的控制，提升產品的良率都起到了很大的作用，能夠 幫助企業更快捷的實現數據化管理

BENEFITS • 快速測量表面顆粒 • 可以幫忙控制機臺產品上的顆粒物從而提高產量 • 通過快速識別粒子源，減少故障排除時間 • 可以監測物料，來料，以及Parts上的Particle • 減少PM的周期 • 符合 ISO 14644-9表面粒子操作規范 • 減少粒子相關故障 QIII SMTM SIDE VIEW 表面塵埃粒子理化分 析儀 0.3-10um 微粒表面塵埃粒子理化分析儀QIII SM orp.c Particle 測量范圍: 0.3um -10um  • 粒徑通道: 0.3, 0.5, 1.0, 3.0, 5.0, 10.0um  • 激光源: 鐳射激光 • 尺寸 & 重量: 30.5cm X 26.7cmX 22.9cm, 8.4 公斤 • 電池:2塊可熱插拔鋰電池 • 顯示: 7” 英寸WVGA觸摸屏 • 數據顯示: 顆/平方厘米,顆/平方英寸,顆 • 可智能分析測試數據平均值 • 數據輸出: USB,以太網, WiFi（選配） • 探頭包含: ?” 英寸直角探頭. • 輸入功率: 100-240 VAC, 50/60 hz • 取樣模式: 靜態取樣和動態取樣 • CE認證 • 語言: 英語, 中文, 日文, 韓文 • 美國制造