東京精密 表面粗糙度·輪廓形狀測量機

SURFCOM NEX可以對應粗糙度測量、輪廓測量、粗糙度輪廓形狀綜合測量這三種功能，可以根據(jù)測量目的選擇相應的傳感器。不但各種傳感器可以單獨使用，也可以將各種傳感器組合起來，作為復合機使用。無論是混合型、粗糙度輪廓復合型傳感器，都能根據(jù)用途自由選擇。

SURFCOM 的進化表現(xiàn)出了新的標準在市場上的實際表現(xiàn)證明了它無以倫比的擴展性能一直在追求功能和設計兼顧的NEX系列正在世界上衍生成為新的標準

無論是粗糙度測量、輪廓形狀測量、混合測量，都能在升級追加功能新產(chǎn)品的擴展性能使得一臺設備能擁有多種功能

例如，如果只是需要一般的粗糙度測量機，則只要選擇粗糙度傳感器就可以。后續(xù)，如果需要同時評價R面的粗糙度和大量程的表面形狀，只要升級為混合傳感器就可以滿足，而僅僅只需要更換傳感器就可以了。此外，還可以根據(jù)測量需求進行系統(tǒng)升級，如升級為輪廓形狀傳感器和三維粗糙度測量等。

東京精密 表面粗糙度·輪廓形狀測量機

憑借線性驅(qū)動部獲得令人吃驚的低振動

無限提升傳感器的分辨率本身并非難事。然而，如果不重新審視傳感器的驅(qū)動結(jié)構(gòu)，只是不必要地提升傳感器單體的分辨率，那么就*沒有意義，這樣的規(guī)格也只是擺設而已。東京精密在**在驅(qū)動部搭載高精度線性馬達，同時根本性地達到結(jié)構(gòu)上的“高精度極限點”，以動態(tài)分辨率（Dynamic Resolution）的創(chuàng)意實現(xiàn)了的實力提升。

非接觸驅(qū)動的有效性

線性馬達也適合往復運動，可準確定位并進行高速測量。傳統(tǒng)的控制是組合了電機、編碼器、線性光柵尺的滾珠絲杠驅(qū)動控制，因此特別是對于三維表面性狀評價等，由于準確定位造成往復運動的控制響應性出現(xiàn)了極限。線性驅(qū)動基本上是僅靠線性馬達和標尺的簡單控制，因此可進行高響應性高精度的定位。

對位

為了不損害線性馬達的超低振動特性，安裝在X軸驅(qū)動部的手動進給機構(gòu)在實際測量時，自動將手動齒輪機構(gòu)與線性測量機構(gòu)的連結(jié)分離開來。這樣既確保了良好的操作性，又獲得了高精度。此外，在手持操作部，為了能夠在操縱桿操作以外切實操作微細的對位，布局了微動進給用JOG撥盤。

擁有溫度補正系統(tǒng)，使精度保證溫度范圍擴大到20℃ ±5℃

NEX 系列的驅(qū)動部配備了標準溫度補正系統(tǒng)，使精度保證溫度范圍從原來的20℃ ±2℃擴大到了20±5℃。以往，因為溫度變化引起的熱脹冷縮會使 X 方向的指示精度受到影響，但是內(nèi)置的溫度傳感器會根據(jù)實際的變化，自動進行補正。溫度的補正與否對傳感器的精度影響非常大，通過組合實現(xiàn)溫度補正時NEX系列*的功能

免維護

日常不需要向驅(qū)動機構(gòu)加注潤滑脂、潤滑油。本公司更改了驅(qū)動支持導軌面的材質(zhì)和機構(gòu)，對無給油進行實證，實現(xiàn)了日常免維護。但是基于保證測量機精度的觀點，我們推薦定期維護。