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CN三座標非接觸測量顯微鏡

本儀器所使用的影像測量技術、圖像處理技術、自動調焦技術、亞象素尋邊技術測量分析軟件極大提高測量精度和測量效率。儀器光學系統品質優良，物鏡成像清晰，倍率廣泛。提供物體輪廓（透射）和表面（反射）同軸照明，保證物體影像清晰。導軌、絲杠、光柵尺、電機等關鍵部件全部選用國外，保證系統的高質量和高可靠性。

自動識辨物體焦面位置和自動尋找物體亞象素邊界。優質運動控制器和圖像傳感器，保證高品質圖像質量和工作臺的低噪音平穩運動。 X、Y、Z軸全部電機閉環控制運動，Z軸裝有粗微調焦手輪調節以適應測量工件高度要求。多種形位尺寸（幾何元素）測量，點、線、面、圓、橢圓、球面及其幾何元素間的關系，圓度、球度、平面度等形狀公差，平行度、垂直度等位置公差。平面定義與自動三維采點測量，按國標GB11337-98的各種方法自動進行平面度誤差檢測。提供測量編程指令，具有自學習編程功能，自動批量快速測量，大大提高檢測效率。

人性化方便的運動控制和多種方式的測量功能，編程和自學習，成倍提高測量效率。系統提供多達20個機械坐標和工件坐標。無需轉臺，實時非接觸測量物體的高度、距離、角度等參數。無需傾斜臺，對物體基準面進行數學找正，避免物理找正的煩瑣。提供強大的數理統計分析和數據庫功能：統計參數計算，正態、歷史、直方圖、X2、T、F分布，X2、T、F檢驗，單因素方差分析和相關性檢驗等。輸出結果形式多樣，可被WORD,EXCELL,AUTOCAD等應用軟件使用。幾何形狀測量與構造實時圖形的直觀顯示，利于測量檢查。提供在線幫助功能，操作簡便，易學易用。

技術參數

工作臺行程	標配：X=150mm, Y=150mm, Z=100mm
工作臺行程	選配：X: 100mm～400mm;Y: 100mm～200mm;Z: 100mm-150mm
光學尺分辨率	標配：0.001mm閉式; 選配：0.0005mm閉式,0.0001mm開式
重復定位精度	X,Y,Z: ≤0.0015mm
重復調焦精度（倍率大于150X）	≤0.0015mm
系統不確定度	分辨率為0.001mm時：X,Y: （3.0+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm
	分辨率為0.0005mm時：X,Y: （1.5+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm
	分辨率為0.0001mm時：X,Y: （0.5+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm

儀器配置

部件名稱	規格（標配）		選件		備注
CCD工業攝像頭	彩色CCD（1/2”）		黑白CCD（1/2”）		復合或標準視頻
工業顯微鏡	連續變倍：1:10 1.5X物鏡（50～500X）		連續變倍：0.7-4.5X; 工業內照明高倍率長工作距顯微鏡，物鏡倍率：3X～100X		C-Mount接口
計算機系統	商用PC，98/2000/XP		工業控制機 ,彩色噴墨打印機
測量控制軟件	TDYMS V60CNC
底座	花崗石00級
照明光源	透 6V20W，反21V150W可調鹵素燈	外接照明
工作臺行程（測量范圍）	X:150mm,Y:150mm，Z:100mm	X:100-400mm，Y:100-200mm Z:100-200mm		Z軸帶有粗微調機構,以滿足不同高度工件的測量（80mm 范圍）
驅動方式	X、Y、Z：CNC電動	JOG控制盒
驅動電機	三相步進電機	伺服電機

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